[实用新型]一种半导体高温扩散炉管有效
| 申请号: | 201920680913.0 | 申请日: | 2019-05-13 |
| 公开(公告)号: | CN210110717U | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
| 发明(设计)人: | 黄辉成 | 申请(专利权)人: | 上海欧勋机电工程有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/22 |
| 代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 冯华 |
| 地址: | 201315 上海市崇明区长兴镇潘园公*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 高温 扩散 炉管 | ||
本实用新型公开了一种半导体高温扩散炉管,其结构包括底透气孔、侧护箱、隔护箱、防护炉管口、处理槽、防护边框、固定透气孔、底箱、侧操作箱,底透气孔贯穿于侧操作箱内部,侧操作箱位于侧护箱下方,侧护箱与隔护箱相连接,防护炉管口贯穿于隔护箱内部,本实用新型一种半导体高温扩散炉管,当设备停止运行时,防护炉管口开始进行散热,其内部的热气会通过内空槽跑入热气膨口内,从而通过热涨的力将弧气道与兜气口推动,其实心块将一同顺着旋出口往内旋转,其卡扣钩将卡在凸起卡块上,对其芯体外端封闭起来,当其热气散去,其便打开,能够在设备还留有余温时,对其进行封闭,余温散去便自动打开。
技术领域
本实用新型是一种半导体高温扩散炉管,属于半导体领域。
背景技术
半导体,指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料,但是该现有技术其设备在运行时处于高温状态,等停止运行需要对其进行检修时,难以直观了解其的冷却程度,容易导致其工作人员烫伤。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种半导体高温扩散炉管,以解决的现有技术其设备在运行时处于高温状态,等停止运行需要对其进行检修时,难以直观了解其的冷却程度,容易导致其工作人员烫伤的问题。
为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种半导体高温扩散炉管,其结构包括底透气孔、侧护箱、隔护箱、防护炉管口、处理槽、防护边框、固定透气孔、底箱、侧操作箱。
所述底透气孔贯穿于侧操作箱内部,所述侧操作箱位于侧护箱下方,所述侧护箱与隔护箱相连接,所述、防护炉管口贯穿于隔护箱内部,所述防护炉管口位于处理槽内槽,所述防护边框焊接于隔护箱外表面,所述固定透气孔贯穿于隔护箱内部,所述底箱顶端安装有隔护箱,所述底箱设于处理槽下方,所述防护边框通过隔护箱与固定透气孔相连接。
进一步地,所述防护炉管口包括回旋挡块、内空槽、芯体、热气膨口、旋出口、内兜槽、凸起卡块,所述回旋挡块贯穿于旋出口内部且活动连接,所述芯体嵌入于内空槽内部且位于同一轴心上。
进一步地,所述热气膨口与内兜槽相互贯通,所述内兜槽通过热气膨口与内空槽相连接,所述凸起卡块位于内兜槽外表面,所述内兜槽设于侧护箱内部。
进一步地,所述回旋挡块包括兜气口、弧气道、卡扣钩、顺滑层、实心块,所述兜气口嵌入于实心块内部,所述实心块与顺滑层相连接,所述兜气口与弧气道相互贯通。
进一步地,所述卡扣钩焊接于顺滑层外表面,所述顺滑层通过实心块与兜气口相连接,所述弧气道抵在实心块外表面,所述卡扣钩通过顺滑层与兜气口相连接。
进一步地,所述回旋挡块呈圆形均匀分布,所述内兜槽呈圆环孔结构,所述底透气孔为圆孔结构。
进一步地,所述凸起卡块设有六个,所述底透气孔设有三个。
本实用新型一种半导体高温扩散炉管,当设备停止运行时,防护炉管口开始进行散热,其内部的热气会通过内空槽跑入热气膨口内,从而通过热涨的力将弧气道与兜气口推动,其实心块将一同顺着旋出口往内旋转,其卡扣钩将卡在凸起卡块上,对其芯体外端封闭起来,当其热气散去,其便打开,能够在设备还留有余温时,对其进行封闭,余温散去便自动打开。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本实用新型一种半导体高温扩散炉管的结构示意图;
图2为本实用新型一种防护炉管口的内部结构示意图;
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