[实用新型]一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱

说明书

本实用新型公开了一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱，包括箱体、内部送风循环系统、洁净过滤系统和微氧检测器，箱体合围成用于容纳待烘烤物的工作室腔体，箱体上还开设有进气口和出气口，进气口、工作室腔体和出气口依次连通；其中进气口与氮气系统连通，出气口与排气系统连通，出气口安装有微调门阀；内部送风循环系统固定安装在箱体内，且部分穿过工作室腔体；内部送风循环系统与洁净过滤系统连通；内部送风循环系统上还设有用于检测氧气含量的微氧检测器。氮气从氮气存储设备经过进气口进入到空气调节通道内，并依次通过加热装置、风机、洁净过滤系统、工作室腔体，从出气口排出，可以提供350℃以上的超净环境和ppm以下级氧浓度的实时监控。

技术领域

本实用新型属于烘烤设备技术领域，具体涉及一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱。

背景技术

一般的烘烤设备主要针对含氧量要求不是很严格或不作很高要求的一些产品，以及温度不是很高就能够达到生产要求的产品而设计，针对这种普通烘烤设备来说，对于目前市场上其他无氧化要求高或高温烘烤要求较高的产品则不适合。如现有成型聚酰亚胺膜的固化工艺需要在微氧(可控)、洁净和高温(350℃)的条件下成膜才能保证膜的透明度。而目前国内市场的烘烤设备不能满足这个要求。主要不能解决两个问题：一是没有办法解决在这个高温段对氧浓度的监控，二是无法构建既能保证内部微氧环境，同时又可以有排放的洁净循环的密闭系统。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种既可以提供350℃以上的超净环境，又可以提供ppm级氧浓度实时监测的应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：

一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱，包括箱体、内部送风循环系统、洁净过滤系统和微氧检测器，所述箱体合围成用于容纳待烘烤物的工作室腔体，所述箱体上还开设有进气口和出气口，所述进气口、工作室腔体和出气口依次连通；其中所述进气口与用于提供氮气的氮气系统连通，所述出气口与排气系统连通，所述出气口安装有用于调节排气量的微调门阀；所述内部送风循环系统固定安装在所述箱体内，且部分穿过所述工作室腔体；所述内部送风循环系统与所述洁净过滤系统连通；所述内部送风循环系统上还设有用于检测氧气含量的微氧检测器。

进一步地，还包括控制系统，所述微氧检测器与所述控制系统电连接，所述控制系统与所述微调门阀电连接。

进一步地，所述内部送风循环系统包括空气调节通道、风机和加热装置，其中所述空气调节通道部分贯穿所述工作室腔体，所述风机和加热装置安装在位于所述工作室腔体外的空气调节通道上。

进一步地，所述风机上套设有用于防止风机轴漏风的轴套。

进一步地，所述风机与所述控制系统电连接。

进一步地，所述内部送风循环系统还包括温度传感器，温度传感器与所述控制系统电连接，所述控制系统与所述加热装置电连接。

进一步地，所述氮气系统包括氮气存储设备和流量调节阀，所述氮气存储设备与所述进气口管道连接，所述氮气存储设备与所述进气口的连接通路上设置有流量调节阀，流量调节阀与所述控制系统电连接。

进一步地，所述排气系统为大气环境或通风橱。

进一步地，所述洁净过滤系统为耐高温的玻璃纤维过滤器。

进一步地，所述箱体还包括用于增加所述工作室腔体密闭性的门密封结构，所述门密封结构包括内门封和外门封，其中所述内门封呈“L”状，采用耐350℃以上高温的玻璃纤维制成；所述外门封呈“l”状，由所述内门封的水平末端向下延伸，采用耐250℃以上高温的硅橡胶制成。

本实用新型的有益效果：