[实用新型]一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱

权利要求书

1.一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱，其特征在于：包括箱体(100)、内部送风循环系统(200)、洁净过滤系统(400)和微氧检测器(500)，所述箱体(100)合围成用于容纳待烘烤物的工作室腔体(110)，所述箱体(100)上还开设有进气口(120)和出气口(130)，所述进气口(120)、工作室腔体(110)和出气口(130)依次连通；其中所述进气口(120)与用于提供氮气的氮气系统连通，所述出气口(130)与排气系统(700)连通，所述出气口(130)安装有用于调节排气量的微调门阀；所述内部送风循环系统(200)固定安装在所述箱体(100)内，且部分穿过所述工作室腔体(110)；所述内部送风循环系统(200)与所述洁净过滤系统(400)连通；所述内部送风循环系统(200)上还设有用于检测氧气含量的微氧检测器(500)。

2.根据权利要求1所述的应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱，其特征在于：还包括控制系统(300)，所述微氧检测器(500)与所述控制系统(300)电连接，所述控制系统(300)与所述微调门阀电连接。

3.根据权利要求2所述的应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱，其特征在于：所述内部送风循环系统(200)包括空气调节通道(210)、风机(220)和加热装置(230)，其中所述空气调节通道(210)部分贯穿所述工作室腔体(110)，所述风机(220)和加热装置(230)安装在位于所述工作室腔体(110)外的空气调节通道(210)上。

4.根据权利要求3所述的应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱，其特征在于：所述风机(220)上套设有用于防止风机轴漏风的轴套(221)。

5.根据权利要求3所述的一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱，其特征在于：所述风机(220)与所述控制系统(300)电连接。

6.根据权利要求3所述的一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱，其特征在于：所述内部送风循环系统(200)还包括温度传感器(800)，温度传感器(800)与所述控制系统(300)电连接，所述控制系统(300)与所述加热装置(230)电连接。

7.根据权利要求2所述的一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱，其特征在于：所述氮气系统包括氮气存储设备和流量调节阀，所述氮气存储设备与所述进气口(120)管道连接，所述氮气存储设备与所述进气口(120)的连接通路上设置有流量调节阀，流量调节阀与所述控制系统(300)电连接。

8.根据权利要求1所述的一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱，其特征在于：所述排气系统(700)为大气环境或通风橱。

9.根据权利要求1所述的一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱，其特征在于：所述洁净过滤系统(400)为耐高温的玻璃纤维过滤器。

10.根据权利要求1所述的一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱，其特征在于：所述箱体(100)还包括用于增加所述工作室腔体(110)密闭性的门密封结构(150)，所述门密封结构(150)包括内门封(151)和外门封(152)，其中所述内门封(151)呈“L”状，采用耐350℃以上高温的玻璃纤维制成；所述外门封(152)呈“l”状，由所述内门封(151)的水平末端向下延伸，采用耐250℃以上高温的硅橡胶制成。