[实用新型]真空镀膜机水冷却循环系统

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机水冷却循环系统，包括形成回路的相互水路连接的水塔、镀膜机冷却管路、第一水泵，还包括分别与水塔水路连接的纯净水补水装置及自来水备用补水装置，还包括水位控制装置，所述水位控制装置分别与纯净水补水装置和自来水备用补水装置电性连接。利用纯净水补水装置作为对水塔提供纯净水及补水的设施，避免矿物质丰富的自来水遇热容易析出形成水垢堵塞冷却管路的现象，无需定时费时费力的清理冷却管路，提高设备使用效率，同时通过水位控制装置首先启用纯净水补水装置补充纯净水，保证机器连续工作不停机，设计简单合理，操作简便，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机设备领域，尤其涉及真空镀膜机水冷却循环系统。

背景技术

真空镀膜设备运行时有许多部分需要冷却水冷却。如：真空室、机械泵、扩散泵、电子枪、阻蒸、晶控探头等。这些部位的冷却是通过焊接在外壳的铜管和本身带有金属管道通入冷却水来散热。冷却水流入带走热量，然后再回到冷却塔冷却，被冷却的水再通过水泵重新回到设备冷却水管，以此循环。在冷却塔上通常配置自来水和自来水补水装置作为冷却水源。但自来水中有很多矿物质，在水流经设备冷却管道时，因为高温而使水中的矿物质析出形成水垢粘在设备的冷却管道上，时间一久水垢会堵塞冷却水管使得水路不通真空设备无法散热，严重时设备无法工作，甚至造成设备损坏。而堵塞的水管因为线径细而且多弯曲极难疏通，有时要用除垢剂花费几天的时间来疏通管道，严重地时候冷却水管报废需要重新焊接。造成生产停产，损失严重。

发明内容

本实用新型的目的在于提供真空镀膜机水冷却循环系统，能避免或减轻水垢堵塞冷却水管的现象，节省清理成本，保证机器长时间正常运行，结构简单，操作便捷。

本实用新型所采用的技术方案是：真空镀膜机水冷却循环系统，包括形成回路的相互水路连接的水塔、镀膜机冷却管路、第一水泵，还包括分别与水塔水路连接的纯净水补水装置及自来水备用补水装置，还包括水位控制装置，所述水位控制装置分别与纯净水补水装置和自来水备用补水装置电性连接。

其中，所述水位控制装置包括设置于水塔中的第一水位传感器，还包括与所述第一水位传感器电性连接的补水控制电箱。

其中，所述纯净水补水装置包括相互水路连接的纯水桶、第一电磁阀、第二水泵，所述第二水泵出水口接入水塔，所述第一电磁阀接在纯水桶与第二水泵之间的水路中并与补水控制电箱电性连接，所述第二水泵与补水控制电箱电性连接。

其中，还包括纯水机，所述纯水机与纯水桶水路连接。

其中，还包括设置于纯水桶中的第二水位传感器，所述第二水位传感器与补水控制电箱电连接。

其中，所述自来水备用补水装置包括自来水管、第二电磁阀，所述自来水管出水口接入水塔，所述第二电磁阀设置在自来水管中并与补水控制电箱电性连接。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：本实用新型的真空镀膜机水冷却循环系统，利用纯净水补水装置作为对水塔提供纯净水及补水的设施，使真空镀膜机水冷却循环系统的循环水为纯净水，避免矿物质丰富的自来水遇热容易析出形成水垢堵塞冷却管路的现象，无需定时费时费力的清理冷却管路，提高设备使用效率，在水塔缺水的情况下通过水位控制装置首先启用纯净水补水装置补充纯净水，确保水源的纯净，在纯净水补水装置故障无法工作时才启用自来水备用补水装置，保证机器连续工作不停机，设计简单合理，操作简便，实用性强。

附图说明

图1是本实用新型的水路结构示意图。

图中标号所示为1-水塔、2-镀膜机冷却管路、3-第一水泵、4-水位控制装置、41-第一水位传感器、42-补水控制电箱、5-纯净水补水装置、51-纯水桶、52-第一电磁阀、53-第二水泵、54-纯水机、55-第二水位传感器、6-自来水备用补水装置、61-自来水管、62-第二电磁阀。

具体实施方式：