[实用新型]真空镀膜机水冷却循环系统

权利要求书

1.真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：包括形成回路的相互水路连接的水塔、镀膜机冷却管路、第一水泵，还包括分别与水塔水路连接的纯净水补水装置及自来水备用补水装置，还包括水位控制装置，所述水位控制装置分别与纯净水补水装置和自来水备用补水装置电性连接。

2.如权利要求1所述的真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：所述水位控制装置包括设置于水塔中的第一水位传感器，还包括与所述第一水位传感器电性连接的补水控制电箱。

3.如权利要求2所述的真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：所述纯净水补水装置包括相互水路连接的纯水桶、第一电磁阀、第二水泵，所述第二水泵出水口接入水塔，所述第一电磁阀接在纯水桶与第二水泵之间的水路中并与补水控制电箱电性连接，所述第二水泵与补水控制电箱电性连接。

4.如权利要求3所述的真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：还包括纯水机，所述纯水机与纯水桶水路连接。

5.如权利要求3所述的真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：还包括设置于纯水桶中的第二水位传感器，所述第二水位传感器与补水控制电箱电连接。

6.如权利要求2～5中任意一项权利要求所述的真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：所述自来水备用补水装置包括自来水管、第二电磁阀，所述自来水管出水口接入水塔，所述第二电磁阀设置在自来水管中并与补水控制电箱电性连接。