[实用新型]一种氧化扩散退火炉

说明书

本实用新型提供一种氧化扩散退火炉，包括上机柜一以及下机柜，所述上机柜一由炉体机构、夹持机构、传动机构，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：氧化、扩散、退火等工艺的机械机构模块化，不同工艺的零件尺寸、位置最大限度的标准化，选材普遍化，降低工艺结构在生产制造过程中的人工、采购成本；客户可根据需要任意置换，增大设备的利用率，体积小、可节省空间，尤其适用于实验室和科研项目，便于客户在更小的工作间内操作使用；机械结构外形和对接尺寸相同，可叠加，一台设备可具备二种工艺或一种工艺有二管，增加客户对各种不同工艺的需求。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体材料的高温氧化、扩散、合金、退火等工艺热处理设备，尤其氧化扩散退火炉的机械结构。

背景技术

氧化扩散退火炉用于集成电路、分立器件、MEMS器件等不同尺寸晶圆的氧化、扩散、退火等工艺。

目前国内厂家生产的同类产品中，通用生产型设计比较普遍，氧化、扩散、退火等工艺的机械机构不能替换、累加，占用空间大，该部分机械机构报废后只能重新订制，大大增加了设备成本。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种氧化扩散退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种氧化扩散退火炉，包括上机柜一以及下机柜，所述上机柜一由炉体机构、夹持机构、传动机构，其中炉体组件安装在上机柜内部中间位置，传动机构安装固定在上机柜一底侧，在传动机构后侧安装有伺服驱动系统，夹持机构连接在传动机构上侧，所述上机柜一的顶部设置有顶罩组件，所述上机柜一安装在下机柜的上方，所述下机柜的侧面设置有底加工件，所述上机柜一的侧面设置有下加工件和上加工件，所述下加工件设置在上机柜一的侧面下侧，所述上加工件设置在上机柜一的侧面上侧，所述底加工件与下加工件通过内六角螺栓固定。

进一步地，气路机构、水路机构、电气控制机构安装在下机柜内部。

进一步地，所述传动机构通过连接件连接在上机柜一底侧，夹持机构通过连接件连接在传动机构上，跟随传动机构的进退进出炉体机构，实现进料出料过程。

进一步地，伺服驱动系统带动传动机构实现进退动作。

进一步地，所述底加工件的表面开有底固定孔，所述下加工件的表面开有下通孔，当上机柜一放置在下机柜上时，底加工件与下加工件处于同一中轴线上，底固定孔与下通孔的圆心处于同一中轴线上，此时内六角螺栓通过贯穿底固定孔与下通孔，从而将底加工件与下加工件连接。

进一步地，还包括上机柜二，所述上机柜二的结构与上机柜一的结构相同，均具有上加工件以及下加工件，所述上加工件的表面开有上固定孔，所述下加工件的表面开有下通孔，当上机柜二放置在上机柜一上时，上加工件与上机柜二的下加工件处于同一中轴线上，上加工件的上固定孔与上机柜二的下通孔的圆心处于同一中轴线上，此时内六角螺栓通过贯穿上加工件的上固定孔与上机柜二的下通孔，从而将上加工件的上加工件与上机柜二的下加工件连接，继而完成上机柜一以及上机柜二的固定。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种氧化扩散退火炉，氧化、扩散、退火等工艺的机械机构模块化，不同工艺的零件尺寸、位置最大限度的标准化，选材普遍化，降低工艺结构在生产制造过程中的人工、采购成本；客户可根据需要任意置换，增大设备的利用率，体积小、可节省空间，尤其适用于实验室和科研项目，便于客户在更小的工作间内操作使用；机械结构外形和对接尺寸相同，可叠加，一台设备可具备二种工艺或一种工艺有二管，增加客户对各种不同工艺的需求。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种氧化扩散退火炉的结构示意图；