[实用新型]一种氧化扩散退火炉

权利要求书

1.一种氧化扩散退火炉，包括上机柜一以及下机柜，其特征在于：所述上机柜一由炉体机构、夹持机构、传动机构，其中炉体组件安装在上机柜内部中间位置，传动机构安装固定在上机柜一底侧，在传动机构后侧安装有伺服驱动系统，夹持机构连接在传动机构上侧，所述上机柜一的顶部设置有顶罩组件，所述上机柜一安装在下机柜的上方，所述下机柜的侧面设置有底加工件，所述上机柜一的侧面设置有下加工件和上加工件，所述下加工件设置在上机柜一的侧面下侧，所述上加工件设置在上机柜一的侧面上侧，所述底加工件与下加工件通过内六角螺栓固定。

2.根据权利要求1所述的一种氧化扩散退火炉，其特征在于：气路机构、水路机构、电气控制机构安装在下机柜内部。

3.根据权利要求1所述的一种氧化扩散退火炉，其特征在于：所述传动机构通过连接件连接在上机柜一底侧，夹持机构通过连接件连接在传动机构上，跟随传动机构的进退进出炉体机构，实现进料出料过程。

4.根据权利要求1所述的一种氧化扩散退火炉，其特征在于：伺服驱动系统带动传动机构实现进退动作。

5.根据权利要求1所述的一种氧化扩散退火炉，其特征在于：所述底加工件的表面开有底固定孔，所述下加工件的表面开有下通孔，当上机柜一放置在下机柜上时，底加工件与下加工件处于同一中轴线上，底固定孔与下通孔的圆心处于同一中轴线上，此时内六角螺栓通过贯穿底固定孔与下通孔，从而将底加工件与下加工件连接。

6.根据权利要求1所述的一种氧化扩散退火炉，其特征在于：还包括上机柜二，所述上机柜二的结构与上机柜一的结构相同，均具有上加工件以及下加工件，所述上加工件的表面开有上固定孔，所述下加工件的表面开有下通孔，当上机柜二放置在上机柜一上时，上加工件与上机柜二的下加工件处于同一中轴线上，上加工件的上固定孔与上机柜二的下通孔的圆心处于同一中轴线上，此时内六角螺栓通过贯穿上加工件的上固定孔与上机柜二的下通孔，从而将上加工件的上加工件与上机柜二的下加工件连接，继而完成上机柜一以及上机柜二的固定。