[实用新型]一种程控三管扩散炉

说明书

本实用新型公开了一种程控三管扩散炉，包括扩散炉主体，上料装置的底端安装有三个临时存放抽屉，临时存放抽屉的表面一侧安装有内缩把手，临时存放抽屉的内部顶端一侧安装有温度控制器，温度控制器的底端安装有继电器，继电器的底端安装有橡胶底座，继电器的一侧安装有半导体制冷片，半导体制冷片的顶侧安装有三个半导体存放盒，半导体存放盒外侧安设置有密封填充，半导体存放盒两端包含有固定挡板，两端固定挡板一侧表面设置有凹槽，两端固定挡板内侧安装有活动隔板。本实用新型通过在上料装置底端设置临时存放抽屉，通过在临时存放抽屉内壁上设置温控结构，使密封填充能够传导温度至半导体存放盒内。

技术领域

本实用新型涉及加工技术领域，特别涉及一种程控三管扩散炉。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

但是，在进行扩散炉的工作使用后，扩散炉的炉体中会产生少量的不合格品，以及在上料装置中有需要待放入的半导体进行再次加工的，需要一个就近的储存地点，而通常的集中储存地点距离扩散炉较远，因此实用性不强。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种程控三管扩散炉，可做到临时存放并储存半导体半成品，同时可以对储存地点的温度进行调节。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种程控三管扩散炉，包括扩散炉主体，所述扩散炉主体的一端安装有炉体，所述炉体的一端安装有上料装置，所述上料装置的另一端安装有电控装置，所述电控装置的表面一侧安装有检修侧门，所述电控装置的底端安装有存放柜，所述上料装置的底端安装有三个临时存放抽屉，所述临时存放抽屉的表面一侧安装有内缩把手，所述临时存放抽屉的内部顶端一侧安装有温度控制器，所述温度控制器的底端安装有继电器，所述继电器的底端安装有橡胶底座，所述继电器的一侧安装有半导体制冷片，所述半导体制冷片的顶侧安装有三个半导体存放盒，所述半导体存放盒外侧安设置有密封填充，所述半导体存放盒两端包含有固定挡板，所述两端固定挡板一侧表面设置有凹槽，所述两端固定挡板内侧安装有活动隔板。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述活动隔板和固定挡板通过凹槽滑动卡扣连接，所述活动隔板是由聚乙烯与橡胶材料复合构成。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述橡胶底座和继电器为包覆连接，所述半导体制冷片和密封填充为胶性连接，所述温度控制器和临时存放抽屉为固定连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述继电器分别与温度控制器和半导体制冷片电性连接，且继电器连接至外部电源，所述临时存放抽屉是由铝合金材料所制作。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述半导体存放盒和密封填充为包覆连接，所述内缩把手和临时存放抽屉固定连接，且内缩把手上半部分表面由交叉纹橡胶材料所覆盖，所述密封填充主要为硅胶和橡胶材料所构成。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述电控装置分别与上料装置和炉体电性连接，所述检修侧门和电控装置为活动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述继电器的型号为JQX-13F-DC24V。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过在上料装置底端设置临时存放抽屉，通过在临时存放抽屉内壁上设置温控结构，使密封填充能够传导温度至半导体存放盒内，使存放盒内的半导体半成品能够在特定环境下进行长时间储存，同时半导体存放盒能够经活动隔板改变自身的储存空间，更方便临时放入异状物。

附图说明