[实用新型]一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置

权利要求书

1.一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置，安装于硅片倒角机上，其特征在于：包括安装托盘、安装支架和喷嘴，所述安装托盘包括连接杆和两个托盘片，所述连接杆为弧形杆，两个托盘片对称连接于连接杆的两端，托盘片之间还预留供吸盘通过的安装间隙，所述安装托盘上预留有滑动轨道，所述滑动轨道设置于所述托盘片上，所述滑动轨道为矩形轨道，两个托盘片上的滑动轨道还平行于安装间隙中轴线，滑动轨道边沿还标注有刻度，吸盘下方机体上预留供螺栓Ⅰ连接的螺纹孔Ⅰ，所述安装托盘还通过螺栓Ⅰ固定于吸盘的下方，所述安装托盘还连有安装支架；

所述安装支架包括第一调整板、连接板和第二调整板，所述连接板为矩形板，连接板上还预留供喷嘴通过的安装口，所述第一调整板和所述第二调整板还分别设置于连接板的两侧，所述第一调整板和所述第二调整板还互相垂直，第一调整板和第二调整板还分别通过侧边垂直连接于连接板相邻的两个边；所述第一调整板和所述第二调整板上均预留调整通孔，所述第一调整板通过螺栓Ⅱ连接于安装托盘，所述第二调整板还连接有所述喷嘴；所述喷嘴设置于所述安装口处。

2.根据权利要求1所述的一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置，其特征在于：螺栓Ⅰ的螺纹端还穿过滑动轨道连接于所述螺纹孔Ⅰ，螺栓Ⅰ的螺栓头还大于滑动轨道的宽度。

3.根据权利要求1或2所述的一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置，其特征在于：所述托盘片上还预留与螺栓Ⅱ相匹配的螺纹孔Ⅱ，螺栓Ⅱ的螺纹端还穿过调整通孔连接于所述螺纹孔Ⅰ，螺栓Ⅱ的螺栓头还大于调整的宽度。

4.根据权利要求3所述的一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置，其特征在于：所述调整通孔为两个平行设置的腰形孔。

5.根据权利要求1所述的一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置，其特征在于：所述安装支架设置为三个，每个安装支架上均连接所述喷嘴。

6.根据权利要求1或5所述的一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置，其特征在于：所述喷嘴还通过抱箍固定于所述第二调整板处，抱箍的螺栓Ⅲ还连接于第二调整板的调整通孔处。

7.根据权利要求6所述的一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置，其特征在于：喷嘴的喷口穿过所述安装口朝向硅片与磨砂轮的接触区，喷嘴的管体通过所述抱箍固定于第二调整板处。