[实用新型]一种坩埚夹持装置有效
| 申请号: | 201920636962.4 | 申请日: | 2019-05-06 |
| 公开(公告)号: | CN210735502U | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
| 发明(设计)人: | 刘保安;韩东;陈永康;张桥清;张从桢 | 申请(专利权)人: | 保山隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号: | B65G47/90 | 分类号: | B65G47/90 |
| 代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 莎日娜 |
| 地址: | 678000 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 坩埚 夹持 装置 | ||
1.一种坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置包括主梁、第一夹臂、第二夹臂、第一夹爪和第二夹爪;
所述第一夹臂和所述第二夹臂分别设置在所述主梁的两端,所述第一夹臂和/或所述第二夹臂与所述主梁滑动连接;
所述第一夹爪与所述第一夹臂连接,所述第二夹爪与所述第二夹臂连接,所述第一夹爪与所述第二夹爪之间形成夹持所述坩埚的夹持空间。
2.根据权利要求1所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置还包括第一驱动组件和第二驱动组件;
所述第一夹臂通过所述第一驱动组件与所述主梁滑动连接;
所述第二夹臂通过所述第二驱动组件与所述主梁滑动连接。
3.根据权利要求2所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述第一驱动组件和/或所述第二驱动组件为伸缩气缸组件、电机丝杠组件中任一组件。
4.根据权利要求2所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置还包括力度传感器;
所述力度传感器与所述第一驱动组件和/或所述第二驱动组件电连接。
5.根据权利要求1所述的坩埚夹持装置,其特征在于,
所述第一夹臂包括相连接的第一横臂和第一纵臂,所述第一横臂沿所述主梁的长度方向设置,所述第一纵臂向所述主梁的一侧延伸,所述第一夹爪与所述第一纵臂上远离所述第一横臂的一端连接。
6.根据权利要求1所述的坩埚夹持装置,其特征在于,
所述第二夹臂包括相连接的第二横臂和第二纵臂,所述第二横臂沿所述主梁的长度方向设置,所述第二纵臂向所述主梁的一侧延伸,所述第二夹爪与所述第二纵臂上远离所述第二横臂的一端连接。
7.根据权利要求1所述的坩埚夹持装置,其特征在于,
所述第一夹爪与所述第一夹臂铰链连接,所述第二夹爪与所述第二夹臂铰链连接。
8.根据权利要求1所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置还包括第一限位开关和第二限位开关;
所述第一限位开关与所述主梁固定连接,所述第一限位开关设置在所述第一夹臂平移运动的极限位置;
所述第二限位开关与所述主梁固定连接,所述第二限位开关设置在所述第二夹臂平移运动的极限位置。
9.根据权利要求1所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置还包括吊环;
所述吊环固定在所述主梁的中部。
10.根据权利要求2所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述坩埚夹持装置还包括距离传感器;
所述距离传感器设置在所述主梁上,并与所述第一驱动组件和/或所述第二驱动组件电连接,所述距离传感器用于监测所述坩埚夹持装置与待夹持坩埚之间的距离。
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