[实用新型]一种坩埚夹持装置

说明书

本实用新型实施例提供了一种坩埚夹持装置，所述坩埚夹持装置包括主梁、第一夹臂、第二夹臂、第一夹爪和第二夹爪；所述第一夹臂和所述第二夹臂分别设置在所述主梁的两端，所述第一夹臂和/或所述第二夹臂与所述主梁滑动连接；所述第一夹爪与所述第一夹臂连接，所述第二夹爪与所述第二夹臂连接，所述第一夹爪与所述第二夹爪之间形成夹持所述坩埚的夹持空间。本实用新型中通过少量零件之间的滑动连接即可实现对坩埚的夹持，结构简单，容易操纵，且更为节省成本。

技术领域

本实用新型涉及坩埚转运领域，特别是涉及一种坩埚夹持装置。

背景技术

石英坩埚是制备单晶硅的必备工具，是制备太阳能行业、半导体行业晶体硅不可或缺的基础工具。在石英坩埚制造过程中，出于不同工序工艺的需求需要对坩埚进行转运。

目前，除了传统的人力搬运翻转坩埚，还有一种自动化的夹持装置，通过利用气囊的充气和放气实现夹持装置中夹持空间的缩小或扩大，从而实现对坩埚的夹持。

发明人在研究上述现有技术的过程中发现，上述现有技术方案存在如下缺点：现有的这种自动夹持装置，由于使用了气囊，因此与气囊配合使用的附件较多，导致整个夹持装置结构复杂，不便于操纵与维修维护，此外，制造成本还较高。

实用新型内容

本实用新型提供一种坩埚夹持装置，旨在解决现有坩埚夹持装置结构复杂且成本高的问题。

本实用新型实施例提供了一种坩埚夹持装置，所述坩埚夹持装置包括主梁、第一夹臂、第二夹臂、第一夹爪和第二夹爪；

所述第一夹臂和所述第二夹臂分别设置在所述主梁的两端，所述第一夹臂和/或所述第二夹臂与所述主梁滑动连接；

所述第一夹爪与所述第一夹臂连接，所述第二夹爪与所述第二夹臂连接，所述第一夹爪与所述第二夹爪之间形成夹持所述坩埚的夹持空间。

可选的，所述坩埚夹持装置还包括第一驱动组件和第二驱动组件；

所述第一夹臂通过所述第一驱动组件与所述主梁滑动连接；

所述第二夹臂通过所述第二驱动组件与所述主梁滑动连接。

可选的，所述第一驱动组件和/或所述第二驱动组件为伸缩气缸组件、电机丝杠组件中任一组件。

可选的，所述坩埚夹持装置还包括力度传感器；

所述力度传感器与所述第一驱动组件和/或所述第二驱动组件电连接。

可选的，所述第一夹臂包括相连接的第一横臂和第一纵臂，所述第一横臂沿所述主梁的长度方向设置，所述第一纵臂向所述主梁的一侧延伸，所述第一夹爪与所述第一纵臂上远离所述第一横臂的一端连接。

可选的，所述第二夹臂包括相连接的第二横臂和第二纵臂，所述第二横臂沿所述主梁的长度方向设置，所述第二纵臂向所述主梁的一侧延伸，所述第二夹爪与所述第二纵臂上远离所述第二横臂的一端连接。可选的，所述第一夹爪与所述第一夹臂铰链连接，所述第二夹爪与所述第二夹臂铰链连接。

可选的，所述坩埚夹持装置还包括第一限位开关和第二限位开关；

所述第一限位开关与所述主梁固定连接，所述第一限位开关设置在所述第一夹臂平移运动的极限位置；

所述第二限位开关与所述主梁固定连接，所述第二限位开关设置在所述第二夹臂平移运动的极限位置。

可选的，所述坩埚夹持装置还包括吊环；

所述吊环固定在所述主梁的中部。

可选的，所述坩埚夹持装置还包括距离传感器；