[实用新型]一种晶圆升降装置

权利要求书

1.一种晶圆升降装置，其特征在于：包括工艺腔体，所述工艺腔体内设置有托环，所述托环的上端面设置有若干顶针，所述托环的下端面垂直连接有轴杆，所述轴杆由所述工艺腔体的底部穿出，所述轴杆在所述工艺腔体内部的部分外侧设置有波纹管，所述波纹管顶部与所述托环连接且密封处理，所述波纹管底部与所述工艺腔体连接；

所述工艺腔体下端面设置有支架，所述支架侧面下部设置有伺服马达，所述伺服马达的电机轴上端连接有丝杆，所述丝杆上螺旋连接有滑块，所述滑块的外侧面与所述支架的侧面滑动连接，所述滑块的内侧面与所述轴杆固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆升降装置，其特征在于：所述支架的侧面在所述滑块的上方和下方分别设置有位置感应器，所述位置感应器连接有控制器，所述控制器与所述伺服马达连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆升降装置，其特征在于：所述支架的侧面在所述滑块的上方和下方分别设置有限位块。