[实用新型]一种用于碳化硅外延的隔热罩装置

权利要求书

1.一种用于碳化硅外延的隔热罩装置,包括相互套设的内筒与外筒；内筒与外筒之间形成空腔；其特征在于，

所述内筒内设有石墨基座，石墨基座外部套设有石墨毡；

所述外筒外部设有若干感应加热器，感应加热器与石墨基座相连；外筒外部一端底侧与顶侧对开多对开孔，底侧的开孔内设有进水口，顶侧的开口内设有出水口；所述空腔内下部设有进水分流道，上部设有出水分流道；进水分流道与出水分流道的一端分别通过进水管与出水管连接进水口与出水口，另一端由封板封住；

所述进水分流道与出水分流道均对称设有三路，分流道壁上设有通孔，两侧的分流道上的通孔为单排孔，中间的分流道为对称分布的双排小孔。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述内筒是圆形或椭圆形的直筒。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述外筒为圆形或椭圆形，两端有圆弧过渡的内翻边，内翻边形成的圆形或椭圆形形状与内筒外径相吻合。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述进水管外壁设有台阶。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述出水管外壁设有台阶。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述进水分流道与出水分流道均是直管或螺旋状管件，孔呈直线或螺旋分布。