[实用新型]酸腐蚀去除硅晶圆表面损伤的治具

权利要求书

1.酸腐蚀去除硅晶圆表面损伤的治具，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的表面开设有放置槽(2)，所述放置槽(2)的内部放置有硅晶圆(3)，工作台(1)的表面设置有支撑架(4)，所述支撑架(4)的表面连接有升降杆(5)，所述升降杆(5)的表面设置有连接杆(6)，所述连接杆(6)的底部设置有手环(7)，且升降杆(5)的底面开设有转动槽(8)，所述转动槽(8)的内部设置有连接块(9)，所述连接块(9)固定在转动架(10)的顶面上，所述转动架(10)的内部设置有储液仓(11)，且转动架(10)的底部设置有擦拭棉(12)，工作台(1)的内部设置有废液仓(13)，所述废液仓(13)与放置槽(2)之间开设有漏液孔。

2.根据权利要求1所述的酸腐蚀去除硅晶圆表面损伤的治具，其特征在于：所述支撑架(4)包括立杆和顶板，立杆固定在顶板和工作台(1)之间，且立杆设置有四个，四个立杆分别分布在工作台(1)的四个角落处。

3.根据权利要求1所述的酸腐蚀去除硅晶圆表面损伤的治具，其特征在于：所述升降杆(5)包括套筒和导向杆，导向杆固定在顶板的底面上，且导向杆的另一端插接在套筒内部，导向杆与套筒之间设置有拉伸弹簧，连接杆(6)呈“L”形杆状结构，连接杆(6)固定在套管的外壁上，手环(7)呈圆环结构。

4.根据权利要求1所述的酸腐蚀去除硅晶圆表面损伤的治具，其特征在于：所述转动槽(8)和连接块(9)均呈“T”字形圆形柱体结构，转动槽(8)对连接块(9)进行限位，转动架(10)呈“T”字形柱体结构，转动架(10)的底面开设有放置槽，放置槽与储液仓(11)之间开设有输液孔，擦拭棉(12)处于放置槽的内部，转动架(10)的表面开设有注液口，注液口的内部插接有塞头，且转动架(10)的表面固定有把手，且转动架(10)的表面嵌入安装有滚珠。

5.根据权利要求1所述的酸腐蚀去除硅晶圆表面损伤的治具，其特征在于：所述废液仓(13)的底面倾斜设置，工作台(1)的表面设置有排液管，废液仓(13)的底面在排液管一侧高度低。