[实用新型]在半导体处理中用于衬底的真空固持器

说明书

本实用新型涉及一种在半导体处理中用于具有不同尺寸的板状衬底的真空固持器。所述真空固持器包括固持板、底板和侧壁，所述侧壁在其侧处或在边界区域中连接所述底板和所述固持板。所述固持板具有完全穿透所述固持板的多个抽吸孔。所述固持板具有前侧和后侧，其中所述底板被布置成与所述固持板的所述后侧相对。抽空容积形成于所述固持板与所述底板之间，真空可提供于所述抽空容积中。至少一个分离壁布置于所述抽空容积中，将所述抽空容积分离成彼此气密地分离的至少两个抽空容积室。所述真空固持器进一步包括至少两个真空入口。此外，至少一个弹性密封元件形成于所述固持板的所述前侧上。

技术领域

本实用新型涉及一种用于在半导体处理中固定例如玻璃衬底或半导体衬底的板状衬底或工件的真空固持器，其中该真空固持器适合于固定不同尺寸的衬底。

背景技术

在半导体处理中用于抽吸板状衬底的真空固持器已知有不同的类型。

DE 102011117869A1中描述了由布置于彼此上方的两个板组成的真空固持器，其中通过布置于该真空固持器的面向要被固持的衬底的板中的孔抽吸所述衬底。然而，所述真空固持器不能适应于衬底的不同尺寸。

根据DE 29818522U1，获知了一种真空固持器，所述真空固持器包括栅格台和可定位于栅格台上的不同位置的适配板。适配板由密封件密封以与栅格台的其它部分分隔。抽吸板、盲板或封闭塞可布置于适配板上以便提供用于固持衬底的真空孔的合适栅格，其中衬底由通过抽吸板施加的低压固持于抽吸板上。直接通过抽吸板或通过栅格台和抽吸板从真空泵提供用于固持衬底的真空。

根据DD 246502A1，可由螺钉或螺栓封闭真空固持板的个别真空孔以便使真空固持板适应于要被固持的衬底的不同尺寸，所述真空孔位于所述衬底的外部。

实用新型内容

本实用新型的目标是提供一种用于半导体处理的真空固持器，所述真空固持器使得有可能快速地固持具有不同尺寸的板状衬底。在无需另外费力组装的情况下快速地且简单地适应于所述衬底的实际尺寸。

本实用新型涉及一种使用真空或者低压的用于板状衬底的固持器。所述真空固持器用于半导体处理中，其中所述衬底是例如玻璃板或半导体衬底。所述真空固持器包括具有多个抽吸孔的固持板，所述多个抽吸孔以栅格状图案布置于所述固持板中。所述固持板具有在所述固持器的操作期间面向要被固持的所述衬底的前侧和与所述前侧相对的后侧。所述抽吸孔完全穿透所述固持板，即，所述抽吸孔从所述固持板的所述前侧延伸到所述后侧。所述真空固持器进一步包括底板以及侧壁，所述底板被布置成与所述固持板的所述后侧相对，所述侧壁在其侧处或在其侧区中连接所述底板和所述固持板，使得抽空容积形成于所述固持板与所述底板之间。不考虑抽吸孔的话，所述抽空容积被气密地(不漏气地)封闭以与环境分隔，使得可在所述抽空容积内生成真空或低压。至少一个分离壁布置于所述抽空容积内，所述至少一个分离壁将所述抽空容积气密地分离成至少两个抽空容积室。所述真空固持器进一步包括至少两个真空入口，其中每个抽空容积室被分配给所述真空入口中的一个真空入口并可被所分配的真空入口提供真空或低压。此外，至少一个弹性密封元件布置于所述固持板的所述前侧上，所述至少一个密封元件的图案或路线对应于所述至少一个分离壁的图案或路线。