[实用新型]在半导体处理中用于衬底的真空固持器

权利要求书

1.一种在半导体处理中用于具有不同尺寸的板状衬底(200)的真空固持器(100)，所述真空固持器(100)包括：

固持板(10)，所述固持板(10)具有多个抽吸孔(13)，其中所述抽吸孔(13)完全穿透所述固持板(10)，且所述固持板(10)具有前侧(11)和后侧(12)；

底板(30)，所述底板(30)被布置成与所述固持板(10)的所述后侧(12)相对；

侧壁(40a-40d)，所述侧壁(40a-40d)在所述底板(30)和所述固持板(10)的侧处或边界区域处连接所述底板(30)和所述固持板(10)，使得所述固持板(10)与所述底板(30)之间形成抽空容积(20)，其中真空能够施加到所述抽空容积(20)；

至少一个分离壁(21a、21b)，所述至少一个分离壁(21a、21b)布置于所述抽空容积(20)内，并将所述抽空容积(20)划分成彼此气密地分离的至少两个抽空容积室(20a-20c)；

至少两个真空入口(50a-50c)，其中每个抽空容积室(20a-20c)被分配给所述真空入口(50a-50c)中的一个真空入口并能够通过相应的所述真空入口(50a-50c)被抽空；以及

至少一个弹性密封元件(70a-70c)，所述至少一个弹性密封元件(70a-70c)布置于所述固持板(10)的所述前侧(11)上，其中所述固持板(10)上的所述至少一个弹性密封元件(70a-70c)的图案与所述至少一个分离壁(21a、21b)的图案对应。

2.根据权利要求1所述的真空固持器，其特征在于，所述固持板(10)和所述底板(30)具有相同的形状和相同的横向延伸部。

3.根据权利要求1或2所述的真空固持器，其特征在于，所述固持板(10)具有矩形形状。

4.根据权利要求1所述的真空固持器，其特征在于，所述至少一个分离壁(21a、21b)中的至少一个分离壁在彼此相对的两个侧壁(40a-40d)之间成直线地延伸。

5.根据权利要求1所述的真空固持器，其特征在于，所述至少一个分离壁(21a、21b)中的至少一个分离壁连接彼此邻近的两个侧壁(40a-40d)，且所述至少一个分离壁(21a、21b)包括彼此成直角延伸的两个部分片段。

6.根据权利要求5所述的真空固持器，其特征在于，所述至少一个分离壁(21a、21b)的第一部分片段沿着第一方向延伸于第一长度上方，且所述至少一个分离壁(21a、21b)的第二部分片段沿着第二方向延伸于第二长度上方，其中所述第一长度等于所述第二长度，且其中所述第二方向与所述第一方向成直角延伸。

7.根据权利要求1所述的真空固持器，其特征在于，所述真空固持器(100)包括若干分离壁(21a、21b)，其中所述分离壁(21a、21b)被形成为具有相同形状。

8.根据权利要求1所述的真空固持器，其特征在于，每个真空入口(50a-50c)连接到能够被机电地、液压地、气动地和/或手动地操纵的控制阀(60a-60c)。

9.根据权利要求1或2所述的真空固持器，其特征在于，至少一个止动元件(90a、90b)在所述固持板(10)的边界区域中或在一个或多个侧壁(40a-40d)处布置于所述固持板(10)的所述前侧(11)上，其中所述至少一个止动元件(90a、90b)突出于所述固持板(10)的所述前侧(11)上方。

10.根据权利要求9所述的真空固持器，其特征在于，两个止动元件(90a、90b)彼此成直角布置。

11.根据权利要求10所述的真空固持器，其特征在于，所述两个止动元件(90a、90b)彼此邻近。

12.根据权利要求10所述的真空固持器，其特征在于，所述固持板(10)具有矩形形状。