[实用新型]一种半导体传感器检测装置有效
申请号: | 201920586761.8 | 申请日: | 2019-04-26 |
公开(公告)号: | CN210090331U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 郭鑫宇;肖娅;沈伟铭;冯小蔚 | 申请(专利权)人: | 上海华魏科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 上海世圆知识产权代理有限公司 31320 | 代理人: | 陈颖洁;王佳妮 |
地址: | 201709 上海市青*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 传感器 检测 装置 | ||
本实用新型公开了一种半导体传感器检测装置,包括检测组件、机架以及设置在机架下端的带式输送机构,所述带式输送机构上沿输送带的移动方向设置有多个检测载盘,且每一检测载盘内均设置有呈一字型排列的多个待检传感器;所述机架内侧开设有滑槽,机架顶端安装有伸缩缸,且伸缩缸的输出端穿过机架并连接有滑动板;所述检测组件包括防护箱与设置在防护箱内的移动机构与检测机构,防护箱顶端封闭、底端开口,且其底端开口朝向检测载盘;所述滑动板与滑槽滑动连接,滑动板靠近防护箱的一端设置有连接杆,且其通过连接杆固接防护箱。本实用新型能够实现对自动半导体传感器进行良品检测,无需人工目测,大大降低人力成本,而且不会出现漏检问题。
技术领域
本实用新型涉及传感器检测领域,具体为一种半导体传感器检测装置。
背景技术
随着科技的发展,半导体元器件被广泛应用于各行各业。而为了确保半导体元器件的合格率,半导体传感器生产制造以后,通常要对其尺寸是否符合要求、是否有磨损等表面缺陷进行检测。而现有技术中的检测仍然是每个半导体元器件逐一单独检测,而且检测到不良品时需人工进行剔除,这不仅效率低,而且浪费人力,提高了生产成本。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体传感器检测装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体传感器检测装置,包括检测组件、机架以及设置在机架下端的带式输送机构,所述带式输送机构上沿输送带的移动方向设置有多个检测载盘,且每一检测载盘内均设置有呈一字型排列的多个待检传感器;所述机架内侧开设有滑槽,机架顶端安装有伸缩缸,且伸缩缸的输出端穿过机架并连接有滑动板;所述检测组件包括防护箱与设置在防护箱内的移动机构与检测机构,防护箱顶端封闭、底端开口,且其底端开口朝向检测载盘;所述滑动板与滑槽滑动连接,滑动板靠近防护箱的一端设置有连接杆,且其通过连接杆固接防护箱;所述移动机构包括驱动装置、移动板与导向杆,导向杆横向安装在防护箱内,移动板设置在导向杆上方,其靠近驱动装置的顶端安装有齿条,其靠近导向杆的底端设置有导向套,且导向套活动套接在导向杆上;所述移动板底端还安装有固定座,固定座底端固接电动推杆,且电动推杆的输出端连接检测机构。
优选的,检测机构包括固定框、安装在固定框上的电机一、连接于电机一输出端的主动轮,以及通过皮带联动主动轮的从动轮,固定框内设置有负压箱与精检测模块,且负压箱侧端部通过连接轴与从动轮同轴连接。
优选的,负压箱上安装有吸附板,吸附板表面设置有吸头,且吸头与负压箱输出端连通。
优选的,防护箱底部设置有光电感应器,固定框底部安装有粗检测模块。
优选的,精检测模块安装在固定框内且位于负压箱上,精检测模块与粗检测模块分别为高精度检测相机与普通检测相机。
优选的,驱动装置包括电机二与齿轮,电机二输出轴连接齿轮并驱动齿轮啮合于移动板顶端的齿条。
优选的,机架外设置有中央控制箱,中央控制箱输入端连接精检测模块、粗检测模块与光电感应器,其输出端连接带式输送机构、伸缩缸、电机一、电机二、负压箱与电动推杆。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
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