[实用新型]一种半导体传感器检测装置有效
| 申请号: | 201920586761.8 | 申请日: | 2019-04-26 |
| 公开(公告)号: | CN210090331U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
| 发明(设计)人: | 郭鑫宇;肖娅;沈伟铭;冯小蔚 | 申请(专利权)人: | 上海华魏科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
| 代理公司: | 上海世圆知识产权代理有限公司 31320 | 代理人: | 陈颖洁;王佳妮 |
| 地址: | 201709 上海市青*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 传感器 检测 装置 | ||
1.一种半导体传感器检测装置,其特征在于,包括检测组件、机架(1)以及设置在机架(1)下端的带式输送机构(2),所述带式输送机构(2)上沿输送带的移动方向设置有多个检测载盘(3),且每一检测载盘(3)内均设置有呈一字型排列的多个待检传感器;所述机架(1)内侧开设有滑槽,机架(1)顶端安装有伸缩缸(4),且伸缩缸(4)的输出端穿过机架(1)并连接有滑动板(5);所述检测组件包括防护箱(7)与设置在防护箱(7)内的移动机构(8)与检测机构(9),防护箱(7)顶端封闭、底端开口,且其底端开口朝向检测载盘(3);所述滑动板(5)与滑槽滑动连接,滑动板(5)靠近防护箱(7)的一端设置有连接杆(6),且其通过连接杆(6)固接防护箱(7);所述移动机构(8)包括驱动装置(81)、移动板(82)与导向杆(83),导向杆(83)横向安装在防护箱(7)内,移动板(82)设置在导向杆(83)上方,其靠近驱动装置(81)的顶端安装有齿条(821),其靠近导向杆(83)的底端设置有导向套(822),且导向套(822)活动套接在导向杆(83)上;所述移动板(82)底端还安装有固定座(823),固定座(823)底端固接电动推杆(10),且电动推杆(10)的输出端连接检测机构(9)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体传感器检测装置,其特征在于:所述检测机构(9)包括固定框(91)、安装在固定框(91)上的电机一(92)、连接于电机一(92)输出端的主动轮(93),以及通过皮带联动主动轮(93)的从动轮(94),固定框(91)内设置有负压箱(95)与精检测模块(96),且负压箱(95)侧端部通过连接轴与从动轮(94)同轴连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导体传感器检测装置,其特征在于:所述负压箱(95)上安装有吸附板(97),吸附板(97)表面设置有吸头,且吸头与负压箱(95)输出端连通。
4.根据权利要求1所述的一种半导体传感器检测装置,其特征在于:所述防护箱(7)底部设置有光电感应器(71),固定框(91)底部安装有粗检测模块(98)。
5.根据权利要求1所述的一种半导体传感器检测装置,其特征在于:所述驱动装置(81)包括电机二(811)与齿轮(812),电机二(811)输出轴连接齿轮(812)并驱动齿轮(812)啮合于移动板(82)顶端的齿条(821)。
6.根据权利要求2所述的一种半导体传感器检测装置,其特征在于:所述精检测模块(96)安装在固定框(91)内且位于负压箱(95)上,精检测模块(96)与粗检测模块(98)分别为高精度检测相机与普通检测相机。
7.根据权利要求1所述的一种半导体传感器检测装置,其特征在于:所述机架(1)外设置有中央控制箱(11),中央控制箱(11)输入端连接精检测模块(96)、粗检测模块(98)与光电感应器(71),其输出端连接带式输送机构(2)、伸缩缸(4)、电机一(92)、电机二(811)、负压箱(95)与电动推杆(10)。
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