[实用新型]一种石墨舟校准装置有效
申请号: | 201920579380.7 | 申请日: | 2019-04-26 |
公开(公告)号: | CN210403677U | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 余波;郑方渊;张华;冯晓倩 | 申请(专利权)人: | 上海弘竣新能源材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201708 上海市青浦区华*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 校准 装置 | ||
1.一种石墨舟校准装置,其特征在于,包括底座(1),底座(1)上设置有下校准板(2),下校准板(2)上方平行设置有上校准板(4),底座(1)一端垂直安装有端部定位板(6),端部定位板(6)顶端与上校准板(4)一端通过铰链(7)转动连接,上校准板(4)远离铰链(7)的一端垂直安装有锁定板(8),底座(1)远离端部定位板(6)的一端设置有与锁定板(8)咬合适配的弹簧卡扣(9);
下校准板(2)上平行且间隔设置有若干下定位卡条(3),上校准板(4)对应位置处设置有若干上定位卡条(5),下定位卡条(3)和上定位卡条(5)均包括固定底板(10)、缓冲板(11)和定位卡槽(13),固定底板(10)为“U”型结构,缓冲板(11)嵌入在固定底板(10)内,缓冲板(11)与固定底板(10)之间通过若干压缩弹簧(12)连接,定位卡槽(13)固定在缓冲板(11)上;
定位卡槽(13)中部嵌入一根转辊(14),转辊(14)内部固定一根齿轮转轴(15),下校准板(2)上于下定位卡条(3)上的各转辊(14)正下方分别设置一个第一从动齿轮(16),各第一从动齿轮(16)与其正上方的齿轮转轴(15)之间通过第一传动链(17)连接;下校准板(2)远离端部定位板(6)的一端且与第一从动齿轮(16)同侧等高处安装有第二从动齿轮(18),各第一从动齿轮(16)以及第二从动齿轮(18)之间通过第二传动链(19)连接;底座(1)侧面对应第二从动齿轮(18)位置处安装有调节板(20),调节板(20)上部与第二从动齿轮(18)等高处设置有调节槽(21),调节槽(21)内壁为齿纹结构,第二从动齿轮(18)中部焊接连接轴(22),连接轴(22)外端连接主动齿轮(23),主动齿轮(23)嵌入调节槽(21)内咬合连接;
底座(1)上于端部定位板(6)和下校准板(2)之间垂直安装有限位板(26),限位板(26)底部插入底座(1)内,底座(1)一侧面对应限位板(26)底部位置处设置有导向槽(27),限位板(26)底部设置有从导向槽(27)穿出的限位滑块(28),底座(1)侧面于导向槽(27)外端安装有过渡板(29),过渡板(29)内插入一根调节螺杆(30),调节螺杆(30)一端与限位滑块(28)连接。
2.根据权利要求1所述的一种石墨舟校准装置,其特征在于:定位卡槽(13)沿下定位卡条(3)和上定位卡条(5)长度方向设置有若干个,定位卡槽(13)沿下定位卡条(3)和上定位卡条(5)宽度方向设置为平行且对称的两排。
3.根据权利要求1所述的一种石墨舟校准装置,其特征在于:定位卡槽(13)为“U”型结构,相邻两下定位卡条(3)或两上定位卡条(5)之间定位卡槽(13)开口相通,下定位卡条(3)和上定位卡条(5)上对应的两定位卡槽(13)开口相对。
4.根据权利要求1所述的一种石墨舟校准装置,其特征在于:定位卡槽(13)两侧壁相对面顶部设置为导向斜面结构。
5.根据权利要求1所述的一种石墨舟校准装置,其特征在于:底座(1)侧面对应调节板(20)底部位置处设置有滑槽(24),调节板(20)设置有插入滑槽(24)内滑动的导向滑块(25)。
6.根据权利要求1所述的一种石墨舟校准装置,其特征在于:过渡板(29)中部设置有通孔,调节螺杆(30)与通孔内壁螺纹连接,调节螺杆(30)通过轴承与限位滑块(28)转动连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造