[实用新型]单晶炉加热系统热回收设备

说明书

本实用新型公开一种单晶炉加热系统热回收设备，包括机架，机架上表面设置有安装板，安装板的上表面设置有气体过滤箱，气体过滤箱的前侧面设置有第一出气管，第一出气管与导管连接，第一出气管的外侧面设置有第三自动排气阀，导管通过弯管接头与进气接管相连，进气接管通过第一卡箍与设置在炉体的外侧面下端的进气口连接，气体过滤箱的左侧面通过第一进气管与设置在炉体外侧面的出气口连接，本实用新型通过对单晶炉制备晶体的工作过程中热量的收集，在单晶炉制备晶体结束后，单晶炉的冷却过程中，将收集的热量重新输送进该装置，减少能量的损失，又实现能量的再利用，提高能量的利用效率，节约能源，减少运营成本。

技术领域

本实用新型涉及热回收技术领域，具体为一种单晶炉加热系统热回收设备。

背景技术

采用单晶炉制备单晶硅过程中，通过消耗大量的电能转化为高温，现如今采用单晶炉制备单晶硅过程中所产生的大量热量，大部分情况通过排风系统排放出去，造成大量热量的损失，而未能得到有效的利用，因此造成了较大的资源浪费，而在单晶炉停炉冷却过程中，需要控制冷却温度，在这个过程中加热系统还要进行工作，在这个过程中，还有热量的损失。

发明内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种单晶炉加热系统热回收设备，通过管道对炉体中热气流的进行输送，在过滤箱中对热气流进行过滤，再通过管路将过滤后的热气流输送进炉体。

为实现上述目的，本实用新型一种单晶炉加热系统热回收设备，包括机架，机架上表面设置有安装板，安装板的上表面设置有气体过滤箱，气体过滤箱的前侧面设置有第一出气管，第一出气管与导管连接，第一出气管的外侧面设置有第三自动排气阀，导管通过弯管接头与进气接管相连，进气接管通过第一卡箍与设置在炉体的外侧面下端的进气口连接，气体过滤箱的左侧面通过第一进气管与设置在炉体外侧面的出气口连接。

进一步，机架的上表面设置有安装板，安装板的下表面设置有第一抽真空泵，第一抽真空泵的附近设置有第二抽真空泵，第一抽真空泵通过第一抽真空管与气体过滤箱相连。

进一步，气体过滤箱上表面设置有四周均布有支柱，支柱的上表面固定连接集气箱，气体过滤箱上表面设置通气管且与集气箱连接，通气管的外侧面设置有第一自动排气阀。

进一步，集气箱通过第二抽真空管与第二抽真空泵连接，集气箱的前侧面连接有导管，导管的附近一侧设置有第二自动排气阀，集气箱的外侧面设置有压力表。

进一步，气体过滤箱的内侧面设置有耐高温过滤器，耐高温过滤器的数量为三个，三个耐高温过滤器均匀的排列在气体过滤箱的内侧面。

进一步，第一抽真空泵和第二抽真空泵的输出端分别与外置电源的输入端电连接。

与现有技术相比，本实用新型通过对单晶炉制备晶体的工作过程中热量的收集，在单晶炉制备晶体结束后，单晶炉的冷却过程中，将收集的热量重新输送进该装置，减少能量的损失，又实现能量的再利用，提高能量的利用效率，节约能源，减少运营成本。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型正视图；

图3为本实用新型右视图。

图中：1炉体、2出气口、3第一进气管、4压力表、5集气箱、6支柱、7气体过滤箱、8安装板、9机架、10第二抽真空管、11弯管接头、12第一出气管、13第三自动排气阀、14导管、15第二自动排气阀、16进气接管、17第一卡箍、18第一抽真空管、19第一自动排气阀、20第一抽真空泵、21第二抽真空泵、22耐高温过滤器。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型作进一步说明。