[实用新型]单晶炉加热系统热回收设备

权利要求书

1.一种单晶炉加热系统热回收设备，包括机架(9)，其特征在于，机架(9)上表面设置有安装板(8)，安装板(8)的上表面设置有气体过滤箱(7)，气体过滤箱(7)的前侧面设置有第一出气管(12)，第一出气管(12)与导管(14)连接，第一出气管(12)的外侧面设置有第三自动排气阀(13)，导管(14)通过弯管接头(11)与进气接管(16)相连，进气接管(16)通过第一卡箍(17)与设置在炉体(1)的外侧面下端的进气口连接，气体过滤箱(7)的左侧面通过第一进气管(3)与设置在炉体(1)外侧面的出气口(2)连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热系统热回收设备，其特征在于，机架(9)的上表面设置有安装板(8)，安装板(8)的下表面设置有第一抽真空泵(20)，第一抽真空泵(20)的附近设置有第二抽真空泵(21)，第一抽真空泵(20)通过第一抽真空管(18)与气体过滤箱(7)相连。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热系统热回收设备，其特征在于，气体过滤箱(7)上表面设置有四周均布有支柱(6)，支柱(6)的上表面固定连接集气箱(5)，气体过滤箱(7)上表面设置通气管且与集气箱(5)连接，通气管的外侧面设置有第一自动排气阀(19)。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉加热系统热回收设备，其特征在于，集气箱(5)通过第二抽真空管(10)与第二抽真空泵(21)连接，集气箱(5)的前侧面连接有导管(14)，导管(14)的附近一侧设置有第二自动排气阀(15)，集气箱(5)的外侧面设置有压力表(4)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热系统热回收设备，其特征在于，气体过滤箱(7)的内侧面设置有耐高温过滤器(22)，耐高温过滤器(22)的数量为三个，三个耐高温过滤器(22)均匀的排列在气体过滤箱(7)的内侧面。

6.根据权利要求2所述的一种单晶炉加热系统热回收设备，其特征在于，第一抽真空泵(20)和第二抽真空泵(21)的输出端分别与外置电源的输入端电连接。