[实用新型]单晶炉籽晶软轴更换预紧装置有效

专利信息
申请号: 201920567199.4 申请日: 2019-04-24
公开(公告)号: CN210048877U 公开(公告)日: 2020-02-11
发明(设计)人: 张艳辉 申请(专利权)人: 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
主分类号: C30B15/32 分类号: C30B15/32;C30B29/06
代理公司: 32205 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 李妮
地址: 221000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 软轴 籽晶 压紧轮 活结螺栓 支撑轮 压紧螺母 预紧力 两组 手轮 预紧 支架 上下对称设置 大小一致 顶端铰接 晶体拉制 使用寿命 预紧装置 单晶炉 螺纹轴 平稳性 上端 划伤 卷绕 螺纹 通孔 下端 穿过 配套 保证
【权利要求书】:

1.一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置,其特征在于:包括定位预紧支架(1),定位预紧支架(1)的一侧上下对称设置有两组支撑轮(8),另一侧的上端与压紧轮架(3)的顶端铰接,另一侧的下端设置有活结螺栓(4);所述压紧轮架(3)上设置有一组压紧轮(2),压紧轮(2)位于两组支撑轮(8)之间,压紧轮(2)和支撑轮(8)的边缘沿周向均设有用于放置籽晶软轴(10)的凹槽;所述压紧轮架(3)的底端设有通孔,活结螺栓(4)的螺纹轴依次穿过压紧轮架(3)底端的通孔和压紧螺母手轮(6),压紧螺母手轮(6)与活结螺栓(4)螺纹配套连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置,其特征在于:所述活结螺栓(4)处于活结螺栓(4)连接处与压紧轮架(3)底端之间的螺纹轴上套设有弹簧(5)。

3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置,其特征在于:所述压紧螺母手轮(6)与压紧轮架(3)之间设置有垫片(7),垫片(7)套在活结螺栓(4)的螺纹轴上。

4.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置,其特征在于:所述压紧轮架(3)上设有用于防止籽晶软轴(10)滑出凹槽的防溜罩(11)。

5.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置,其特征在于:所述定位预紧支架(1)另一侧的上端与压紧轮架(3)的顶端通过铆钉(9)铰接。

6.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置,其特征在于:所述压紧轮架(3)底端的通孔直径大于活结螺栓(4)螺纹轴的外径。

7.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置,其特征在于:所述压紧轮(2)和支撑轮(8)的厚度为8mm,凹槽的深度为2.6~4.2mm。

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