[实用新型]单晶炉籽晶软轴更换预紧装置有效

专利信息
申请号: 201920567199.4 申请日: 2019-04-24
公开(公告)号: CN210048877U 公开(公告)日: 2020-02-11
发明(设计)人: 张艳辉 申请(专利权)人: 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
主分类号: C30B15/32 分类号: C30B15/32;C30B29/06
代理公司: 32205 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 李妮
地址: 221000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 软轴 籽晶 压紧轮 活结螺栓 支撑轮 压紧螺母 预紧力 两组 手轮 预紧 支架 上下对称设置 大小一致 顶端铰接 晶体拉制 使用寿命 预紧装置 单晶炉 螺纹轴 平稳性 上端 划伤 卷绕 螺纹 通孔 下端 穿过 配套 保证
【说明书】:

一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置,包括定位预紧支架(1),定位预紧支架的一侧上下对称设置有两组支撑轮(8),另一侧上端与压紧轮架(3)顶端铰接,另一侧下端设置有活结螺栓(4);压紧轮架上设置有一组位于两组支撑轮之间的压紧轮(2),压紧轮和支撑轮的边缘沿周向均设有用于放置籽晶软轴(10)的凹槽;活结螺栓的螺纹轴依次穿过压紧轮架底端的通孔和压紧螺母手轮(6),压紧螺母手轮与活结螺栓螺纹配套连接。该装置可实现籽晶软轴在卷绕的过程中保持一定的预紧力,还能保证预紧力大小一致;另外,该装置能够适用不同直径的籽晶软轴,且不会对籽晶软轴表面造成划伤,延长籽晶软轴的使用寿命,提高晶体拉制过程的控制平稳性。

技术领域

本实用新型涉及一种更换预紧装置,具体涉及一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置,属于单晶炉技术领域。

背景技术

提拉法单晶硅生长的原理是在惰性气体(氩气)环境中,用石墨电阻加热器将多晶硅材料熔化,在特定温区内,通过晶体传动机构带动籽晶运动,通过坩埚传动机构带动溶液运动,形成晶体的固液交界面,并产生一个适合硅单晶生长的温度场,实现生长无错位的单晶棒。其中,用于带动籽晶夹头的籽晶软轴因受到高温液面长时间的重复烘烤,易造成其端头部分烧损、毛刺、松箍等不良现象的发生,使用前应立即更换,每月一次大清后必需更换籽晶软轴,以杜绝晶体拉制过程中出现掉棒的恶性事故发生。

目前,大多数单晶硅炉的籽晶软轴在更换时,为了保证籽晶软轴在卷绕过程中保持一定的预紧力,维护人员现场常通过手拉或在绳端打结加挂重物的方式来实现;该操作方式粗放、预紧力大小不受控制或不统一,卷丝轮卷绕过程中存在跳绳或预紧力不够的现象,从而影响籽晶软轴的使用寿命或拉晶过程的控制。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置,该装置无需维护人员现场通过手拉或在绳端打结加挂重物的方式,即可实现籽晶软轴在卷绕的过程中保持一定的预紧力,同时,该装置还能保证预紧力大小一致;另外,该装置不会对籽晶软轴表面造成划伤,延长籽晶软轴的使用寿命,提高晶体拉制过程的控制平稳性。

为实现上述目的,本实用新型提供了一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置,包括定位预紧支架,定位预紧支架的一侧上下对称设置有两组支撑轮,另一侧的上端与压紧轮架的顶端铰接,另一侧的下端设置有活结螺栓;所述压紧轮架上设置有一组压紧轮,压紧轮位于两组支撑轮之间,压紧轮和支撑轮的边缘沿周向均设有用于放置籽晶软轴的凹槽;所述压紧轮架的底端设有通孔,活结螺栓的螺纹轴依次穿过压紧轮架底端的通孔和压紧螺母手轮,压紧螺母手轮与活结螺栓螺纹配套连接。

进一步的,所述活结螺栓处于活结螺栓连接处与压紧轮架底端之间的螺纹轴上套设有弹簧。

进一步的,所述压紧螺母手轮与压紧轮架之间设置有垫片,垫片套在活结螺栓的螺纹轴上。

进一步的,所述压紧轮架上设有用于防止籽晶软轴滑出凹槽的防溜罩。

优选的,所述定位预紧支架另一侧的上端与压紧轮架的顶端通过铆钉铰接。

优选的,所述压紧轮架底端的通孔直径大于活结螺栓螺纹轴的外径。

优选的,所述压紧轮和支撑轮的厚度为8mm,凹槽的深度为2.6~4.2mm。

与现有技术相比,本实用新型无需维护人员现场通过手拉或在绳端打结加挂重物的方式,通过压紧螺母手轮旋转将籽晶软轴压紧在压紧轮和支撑轮边缘沿周向开设的凹槽中,即可实现籽晶软轴在卷绕的过程中保持一定的预紧力,同时,该装置还能保证预紧力大小一致;另外,该装置能够适用不同直径的籽晶软轴,且不会对籽晶软轴表面造成划伤,延长籽晶软轴的使用寿命,避免了卷丝轮卷绕过程中出现的跳绳或预紧力不够的现象,提高晶体拉制过程的控制平稳性。该装置结构简单,便于制造,成本低,适合在单晶炉领域推广使用。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图;

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