[实用新型]一种半导体化学气相沉淀装置金属面板测孔治具

说明书

本实用新型公开了一种半导体化学气相沉淀装置金属面板测孔治具，属于气相沉淀装置测孔技术领域，包括治具本体，所述治具本体为一具有厚度的矩形板结构，所述治具本体上一侧设有对称设置的找正孔，所述治具本体中部开设有定位槽，所述定位槽为贯穿于治具本体的圆形通孔；所述定位槽的侧壁连接有定位环，所述定位环为一具有厚度和高度的圆环状结构，所述定位环上端面为阶梯状的台阶卡槽；所述治具本体的一角处连接有定位块，治具本体上定位块所在位置开设有底部定位孔。本治具节省测量时间，测孔位置固定，测量结果准确且有对比性。

技术领域

本实用新型属于气相沉淀装置测孔技术领域，具体涉及一种半导体化学气相沉淀装置金属面板测孔治具。

背景技术

目前在对半导体化学气相沉积金属面板洗净过程中，需要对金属面板的孔径值进行测量，测量结果用来衡量是否报废，在此工序中需要用专用的孔径测量仪进行测量，现有测孔工序为人工手动找定位点，再通过孔径测量仪进行测量，此做法无法保证每次测量的孔径都是同一位置的孔径，使的测量结果没有对比性，且人工找孔准确性低，耗时长。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种半导体化学气相沉淀装置金属面板测孔治具，节省测量时间，测孔位置固定，测量结果准确且有对比性。

本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：一种半导体化学气相沉淀装置金属面板测孔治具，包括治具本体，所述治具本体为一具有厚度的矩形板结构，所述治具本体上一侧设有对称设置的找正孔，所述治具本体中部开设有定位槽，所述定位槽为贯穿于治具本体的圆形通孔；所述定位槽的侧壁连接有定位环，所述定位环为一具有厚度和高度的圆环状结构，所述定位环上端面为阶梯状的台阶卡槽；所述治具本体的一角处连接有定位块，治具本体上定位块所在位置开设有底部定位孔。

进一步的，所述定位块包括衔接块和固定块，所述衔接块的一侧为与定位环相连接配合的弧形，所述衔接块另一侧与固定块连接；所述固定块为一具有厚度的三角块状结构，其与衔接块连接的一侧开设有金属面板卡槽，所述金属面板卡槽为两面开口的半封闭结构。

进一步的，所述固定块顶部开设有金属面板定位孔，所述金属面板定位孔与金属面板卡槽相通，且所述金属面板定位孔内螺纹连接有金属面板定位螺栓。

进一步的，所述治具本体底部开设有多个底部凹槽，所述的底部凹槽分别位于治具本体底部相对的两侧。

进一步的，所述底部定位孔内螺纹连接有底部定位螺栓。

进一步的，所述治具本体、定位环、定位块的材质均为聚四氟乙烯。

本实用新型的有益效果是：治具本体、定位环、定位块选用聚四氟乙烯材质，尺寸稳定，耐候性好，对金属面板的伤害极小，质量轻盈，可重复使用，本实用新型与现有人工找孔测孔相比，提高了孔径测量的速度，节省了测量时间，测孔位置固定，测量结果准确且有对比性；治具结构简单，便于操作。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为本实用新型的底部结构示意图；

图4为本实用新型的侧视图；

图5为本实用新型与金属面板装配结构爆炸视图。

图中附图标记如下：1、治具本体，2、找正孔，3、定位槽，4、定位环，5、台阶卡槽，6、底部定位孔，7、衔接块，8、固定块，9、金属面板卡槽，10、金属面板定位孔，11、金属面板定位螺栓，12、底部凹槽，13、突出卡扣。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述。