[实用新型]一种镀膜设备中的加热传感装置及镀膜设备有效
申请号: | 201920522140.3 | 申请日: | 2019-04-17 |
公开(公告)号: | CN209906878U | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 徐荣桢 | 申请(专利权)人: | 昆山龙腾光电有限公司 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46;C23C16/52 |
代理公司: | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 215301 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁场产生部件 热量产生部件 加热 本实用新型 传感基板 磁场变化 镀膜设备 磁通量 温度传感部件 穿过 待镀膜基板 传感装置 镀膜基板 均匀加热 控制部件 沉积 膜质 薄膜 | ||
1.一种镀膜设备中的加热传感装置,包括温度传感部件、加热传感基板和控制部件,所述温度传感部件与所述控制部件电连接,以将采集的所述加热传感基板的加热温度发送至所述控制部件,其特征在于,所述加热传感基板包括沿基板中心到边缘依次设置的第一磁场产生部件和第二磁场产生部件;沿基板中心到边缘依次设置的第一热量产生部件和第二热量产生部件;
所述控制部件分别与所述第一磁场产生部件以及所述第二磁场产生部件连接,以控制所述第一磁场产生部件产生变化的磁场以及控制所述第二磁场产生部件产生变化的磁场;
所述第一热量产生部件与所述第一磁场产生部件对应设置,穿过所述第一热量产生部件的磁通量基于所述第一磁场产生部件的磁场变化而变化,以及所述第二热量产生部件与所述第二磁场产生部件对应设置,穿过所述第二热量产生部件的磁通量基于所述第二磁场产生部件的磁场变化而变化。
2.根据权利要求1所述的镀膜设备中的加热传感装置,其特征在于,穿过所述第二热量产生部件的磁通量的变化率大于穿过所述第一热量产生部件的磁通量的变化率;
和/或,所述第二磁场部件产生磁场的时间大于所述第一磁场产生部件产生磁场的时间。
3.根据权利要求2所述的镀膜设备中的加热传感装置,其特征在于,所述第一磁场产生部件和所述第二磁场产生部件为相互独立的两个电感线圈,且靠近基板边缘的电感线圈中的电流大于靠近基板中心的电感线圈中的电流;
和/或,靠近基板边缘的电感线圈中通入电流的时间大于靠近基板中心的电感线圈中通入电流的时间。
4.根据权利要求2所述的镀膜设备中的加热传感装置,其特征在于,所述第一磁场产生部件和所述第二磁场产生部件为电连接的两段电磁线圈,且靠近基板边缘的一段电感线圈的缠绕密度大于靠近基板中心的一段电感线圈的缠绕密度。
5.根据权利要求2所述的镀膜设备中的加热传感装置,其特征在于,所述控制部件还包括转盘,所述第一磁场产生部件和所述第二磁场产生部件均包括多个永久磁体铁,且靠近基板边缘的永久磁铁的排布密度大于靠近基板中心的永久磁铁的排布密度;
多个永久磁铁设置于所述转盘中,且多个永久磁铁产生的磁场的空间分布随转盘的旋转而变化;
其中,所述第一磁场产生部件中至少部分的永久磁体的N极朝向所述加热传感基板的加热面,且至少部分的永久磁体的S极朝向所述加热传感基板的加热面;所述第二磁场产生部件中至少部分的永久磁体的N极朝向所述加热传感基板的加热面,且至少部分的永久磁体的S极朝向所述加热传感基板的加热面。
6.根据权利要求1-3任一项所述的镀膜设备中的加热传感装置,其特征在于,所述第一热量产生部件和所述第二热量产生部件为相互独立的两个导电壳体,且所述两个导电壳体分别绝缘包覆于所述第一磁场产生部件以及所述第二磁场产生部件外。
7.根据权利要求1-4任一项所述的镀膜设备中的加热传感装置,其特征在于,所述第一热量产生部件和所述第二热量产生部件为连接于一体的一个导电壳体,且所述一个导电壳体绝缘包覆于所述第一磁场产生部件和所述第二磁场产生部件外。
8.根据权利要求3或4所述的镀膜设备中的加热传感装置,其特征在于,所述第一热量产生部件与所述电感线圈之间填充有绝缘材料,且所述第二热量产生部件与所述电感线圈之间填充有绝缘材料;
或,绕制电感线圈的线缆外包覆有绝缘层。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的