[实用新型]一种化学镍钯金生产线有效

专利信息
申请号: 201920475612.4 申请日: 2019-04-04
公开(公告)号: CN210560748U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 张毅;张新学;刘龙平;肖开球;李兴海;贺炳祥 申请(专利权)人: 深圳市互连微电子材料有限公司
主分类号: C23C18/32 分类号: C23C18/32;C23C18/42
代理公司: 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 代理人: 王仲凯
地址: 518000 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 化学 镍钯金 生产线
【权利要求书】:

1.一种化学镍钯金生产线,其特征在于,包括:

输送机构;

依次相邻设置在所述输送机构运动路径上的前处理区、化学镍钯金区和后处理区;

所述化学镍钯金区包括:

依次设置的预浸缸、活化缸、后浸缸、第四清洗装置、化学镍槽、第五清洗装置、化学钯槽、第六清洗装置、化学金槽、第七清洗装置、金面封孔保护槽和第八清洗装置;

所述前处理区与预浸缸相邻设置;

所述第八清洗装置与后处理区相邻设置。

2.根据权利要求1所述的化学镍钯金生产线,其特征在于,所述前处理区包括:

依次设置的喷砂机、磨板机、第一清洗装置、除油设备、微蚀缸、第二清洗装置、酸洗缸和第三清洗装置;

所述第三清洗装置与预浸缸相邻设置。

3.根据权利要求1所述的化学镍钯金生产线,其特征在于,所述后处理区包括:烘干机;

所述第八清洗装置与烘干机相邻设置。

4.根据权利要求1所述的化学镍钯金生产线,其特征在于,所述输送机构包括:

用于水平输送镀件的前处理区水平输送装置;

用于水平输送镀件的化学镍钯金区水平输送装置;

用于水平输送镀件的后处理区水平输送装置。

5.根据权利要求4所述的化学镍钯金生产线,其特征在于,所述输送机构还包括:

第一垂直输送装置,所述第一垂直输送装置用于将镀件从化学镍钯金区水平输送装置上垂直吊起浸入化学镍槽中并带动镀件向第五清洗装置方向移动;

第二垂直输送装置,所述第二垂直输送装置用于将镀件从化学镍钯金区水平输送装置上垂直吊起浸入化学钯槽中并带动镀件向第六清洗装置方向移动;

第三垂直输送装置,所述第三垂直输送装置用于将镀件从化学镍钯金区水平输送装置上垂直吊起浸入化学金槽中并带动镀件向第七清洗装置方向移动;

第四垂直输送装置,所述第四垂直输送装置用于将镀件从化学镍钯金区水平输送装置上垂直吊起浸入金面封孔保护槽中并带动镀件向第八清洗装置方向移动。

6.根据权利要求1所述的化学镍钯金生产线,其特征在于,所述化学镍槽设置有至少三个;

所述化学钯槽设置有至少三个;

所述化学金槽设置有至少三个。

7.根据权利要求4所述的化学镍钯金生产线,其特征在于,所述前处理区水平输送装置、化学镍钯金区水平输送装置和后处理区水平输送装置的传输速度独立可调。

8.根据权利要求5所述的化学镍钯金生产线,其特征在于,所述第一垂直输送装置、第二垂直输送装置、第三垂直输送装置和第四垂直输送装置的传输速度独立可调。

9.根据权利要求1所述的化学镍钯金生产线,其特征在于,化学镍槽的材质为PP材质或不锈钢材质。

10.根据权利要求1所述的化学镍钯金生产线,其特征在于,化学钯槽为NPP材质或者外槽采用NPP材质、内槽采用不锈钢喷铁氟隆材质。

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