[实用新型]一种捕集器及装有捕集器的排气系统

权利要求书

1.一种捕集器，其特征在于，包括：筒体、第一盖板、第二盖板、进气配管和出气配管；所述第一盖板和所述第二盖板分别可拆卸的固定安装在所述筒体的两端，所述第一盖板和所述第二盖板封闭所述筒体的内腔、以形成密闭的捕集室；所述筒体的筒壁中设有包裹所述捕集室以对捕集室进行降温的冷腔，所述冷腔内具有循环流动的冷却水或冷却液；所述进气配管固定安装在所述第一盖板上，所述进气配管的进气端为所述捕集器的进气口，所述进气配管的出气端穿过所述第一盖板伸入到所述捕集室内；所述出气配管固定安装在所述第二盖板上，所述出气配管的进气端穿过所述第二盖板伸入到所述捕集室内，所述出气配管的出气端为所述捕集器的出气口；所述进气配管出气端的端口平面过所述出气配管进气端的端口平面，以使从所述进气配管流入的排气、在所述捕集室内呈Z字型流动、进而再从所述出气配管流出。

2.根据权利要求1所述的一种捕集器，其特征在于：所述筒体包括内筒和固定套设在所述内筒上的外筒，所述内筒和所述外筒之间形成的密闭空腔为所述冷腔；所述外筒上设置有与所述冷腔相通的进水口和出水口。

3.根据权利要求2所述的一种捕集器，其特征在于：所述进水口和所述出水口分别位于所述外筒的两侧及两端，即进水口和出水口呈对角线相对。

4.根据权利要求1所述的一种捕集器，其特征在于：所述第一盖板和所述第二盖板均通过螺丝固定安装在所述筒体上；所述第一盖板与所述筒体的端部之间、以及所述第二盖板与所述筒体的端部之间，均设有密封圈。

5.一种装有捕集器的排气系统，包括依次连接的分子泵、真空配管、干泵、洗涤塔，其特征在于：还包括捕集器，所述捕集器设置在分子泵、真空配管之间；所述捕集器包括筒体、第一盖板、第二盖板、进气配管和出气配管；所述第一盖板和所述第二盖板分别可拆卸的固定安装在所述筒体的两端，所述第一盖板和所述第二盖板封闭所述筒体的内腔、以形成密闭的捕集室；所述筒体的筒壁中设有包裹所述捕集室以对捕集室进行降温的冷腔，所述冷腔内具有循环流动的冷却水或冷却液；所述进气配管固定安装在所述第一盖板上，所述进气配管的进气端为所述捕集器的进气口，所述进气配管的出气端穿过所述第一盖板伸入到所述捕集室内；所述出气配管固定安装在所述第二盖板上，所述出气配管的进气端穿过所述第二盖板伸入到所述捕集室内，所述出气配管的出气端为所述捕集器的出气口；所述进气配管出气端的端口平面过所述出气配管进气端的端口平面，以使从所述进气配管流入的排气、在所述捕集室内呈Z字型流动、进而再从所述出气配管流出。

6.根据权利要求5所述的一种装有捕集器的排气系统，其特征在于：所述筒体包括内筒和固定套设在所述内筒上的外筒，所述内筒和所述外筒之间形成的密闭空腔为所述冷腔；所述外筒上设置有与所述冷腔相通的进水口和出水口。

7.根据权利要求6所述的一种装有捕集器的排气系统，其特征在于：所述进水口和所述出水口分别位于所述外筒的两侧及两端，即进水口和出水口呈对角线相对。

8.根据权利要求5所述的一种装有捕集器的排气系统，其特征在于：所述第一盖板和所述第二盖板均通过螺丝固定安装在所述筒体上；所述第一盖板与所述筒体的端部之间、以及所述第二盖板与所述筒体的端部之间，均设有密封圈。

9.根据权利要求5或6或7或8所述的一种装有捕集器的排气系统，其特征在于：所述分子泵的吸气口通过自动调压阀门与蚀刻腔体连接；所述分子泵的出气口通过真空阀门与所述捕集器的进气口连接，所述捕集器的出气口与所述真空配管的进气口连接，所述真空配管的出气口与所述干泵的进气口连接，所述干泵的出气口通过尾排管道与所述洗涤塔连通。