[实用新型]一种二氧化硅释放工艺设备有效

专利信息
申请号: 201920456310.2 申请日: 2019-04-06
公开(公告)号: CN209810142U 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 许荣明 申请(专利权)人: 福建通源硅业有限公司
主分类号: B01J19/00 分类号: B01J19/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 350000 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 罐体 控制阀 体内 托板 二氧化硅 工艺设备 向下移动 注入气体 进料口 伸缩杆 掉落 垫板 通孔 本实用新型 分阶段反应 挡板 排气口排 再次启动 左右两侧 释放 进气管 内侧壁 排气口 再启动 抵住 分隔 上移 半导体 废气
【权利要求书】:

1.一种二氧化硅释放工艺设备,包括罐体(1),其特征在于:所述罐体(1)的顶部开设有进料口(2),所述罐体(1)的顶部且位于进料口(2)的左右两侧均开设有排气口(3),所述罐体(1)的内侧壁固定安装有挡板(4),所述罐体(1)的内部固定安装有第一托板(5),所述第一托板(5)的内部开设有第一通孔(6),所述罐体(1)的内部且位于第一托板(5)的下方固定安装有第二托板(12),所述第二托板(12)的内部开设有第二通孔(13),所述罐体(1)的底部固定安装有一端延伸至第一通孔(6)和第二通孔(13)的电气伸缩杆(10),所述电气伸缩杆(10)的顶部固定安装有位于第一通孔(6)下方的第一垫板(9),所述第一垫板(9)的底部且位于电气伸缩杆(10)的外侧固定安装有顶杆(11),所述罐体(1)的左侧壁固定安装有第一进气管(7),所述第一进气管(7)的左侧固定安装有控制阀(8),所述电气伸缩杆(10)的外侧壁套接有位于第二通孔(13)下方的第二垫板(14),所述第二垫板(14)的底部且位于电气伸缩杆(10)的外侧固定安装有复位弹簧(15),所述第二垫板(14)的底部且位于复位弹簧(15)的外侧固定安装有波纹软管(16),所述波纹软管(16)远离第二垫板(14)的一端固定安装有与电气伸缩杆(10)套接的分流盘(17),所述罐体(1)的右侧固定安装有第二进气管(18),所述罐体(1)的底部开设有出料口(19),所述罐体(1)的底部固定安装有支撑架(20),所述支撑架(20)的内部固定安装有存料桶(21)。

2.根据权利要求1所述的一种二氧化硅释放工艺设备,其特征在于:所述挡板(4)有三块,且挡板(4)呈阶梯式分布在罐体(1)的内侧壁上。

3.根据权利要求1所述的一种二氧化硅释放工艺设备,其特征在于:所述控制阀(8)有两个,且另外一个控制阀(8)位于第二进气管(18)的右侧。

4.根据权利要求1所述的一种二氧化硅释放工艺设备,其特征在于:所述第一垫板(9)与第一通孔(6)相适配,所述第二垫板(14)与第二通孔(13)相适配,所述顶杆(11)与第二垫板(14)相适配。

5.根据权利要求1所述的一种二氧化硅释放工艺设备,其特征在于:所述第一托板(5)和第二托板(12)的顶部均呈弧面状,所述第二进气管(18)位于第一托板(5)与第二托板(12)之间。

6.根据权利要求1所述的一种二氧化硅释放工艺设备,其特征在于:所述罐体(1)的底部开设有凹槽,所述电气伸缩杆(10)位于凹槽内,所述存料桶(21)与出料口(19)相适配。

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