[实用新型]一种TFT旋转钼靶绑定装置有效
| 申请号： | 201920451372.4 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN209836292U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 张益 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 11421 北京天盾知识产权代理有限公司 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 中空管 绑定装置 密封圈 本实用新型 真空连接孔 气孔率 圆周部 靶材 绑定 内圈 钼靶 中空管外表面 中空管顶部 致密性好 工字型 气密性 上封板 下封板 致密性 背管 保证 贯穿 | ||
【权利要求书】：
1.一种TFT旋转钼靶绑定装置，其特征在于：包括圆柱中空管，所述圆柱中空管为工字型圆柱中空管，所述圆柱中空管外表面开设有若干个真空连接孔，所述真空连接孔贯穿设置于圆柱中空管上，所述圆柱中空管顶部的圆周部安装有上封板，所述圆柱中空管底部的圆周部安装有下封板，所述圆柱中空管上部内圈设置有第一密封圈，所述圆柱中空管下部内圈设置有第二密封圈。
2.根据权利要求1所述的一种TFT旋转钼靶绑定装置，其特征在于：所述上封板和下封板均包括有第一封片和第二封片，所述第一封片和第二封片的顶部均开设有若干个第一螺纹孔，所述第一封片和第二封片通过螺栓连接于圆柱中空管上部。
3.根据权利要求2所述的一种TFT旋转钼靶绑定装置，其特征在于：所述第一封片和第二封片均设置为Ω型封片。
4.根据权利要求3所述的一种TFT旋转钼靶绑定装置，其特征在于：所述第一封片和第二封片两侧均设置有凸出部，所述凸出部开设有第二螺纹孔，所述第一封片通过螺栓穿过第二螺纹孔连接于第二封片。
5.根据权利要求1所述的一种TFT旋转钼靶绑定装置，其特征在于：所述圆柱中空管上部开口内径小于圆柱中空管下部开后内径。
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