[实用新型]一种具有等离子清洗功能的包封预热台有效

专利信息
申请号: 201920445020.8 申请日: 2019-04-03
公开(公告)号: CN209859919U 公开(公告)日: 2019-12-27
发明(设计)人: 徐赛 申请(专利权)人: 长电科技(宿迁)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/02;B08B7/00
代理公司: 11429 北京中济纬天专利代理有限公司 代理人: 赵海波
地址: 223800 江苏省宿迁*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 等离子清洗 预热板 底座 包封 本实用新型 升降装置 预热台 抽真空装置 闭合腔体 产品分层 二次污染 加热装置 清洗效果 射频装置 输入装置 向上运动 保护气 等离子
【权利要求书】:

1.一种具有等离子清洗功能的包封预热台,其特征在于:它包括底座(1),所述底座(1)上方设置有预热板(2),所述底座(1)上设置有升降装置(4),所述底座(1)与预热板(2)之间通过升降装置(4)相连接,所述预热板(2)上设置有加热装置(5),所述预热板(2)上方设置有等离子清洗腔(3),所述等离子清洗腔(3)内设置有保护气输入装置(6)、射频装置(7)和抽真空装置(8),所述预热板(2)可向上运动与所述等离子清洗腔(3)结合形成一闭合腔体(9)。

2.根据权利要求1所述的一种具有等离子清洗功能的包封预热台,其特征在于:所述保护气输入装置(6)用于对闭合腔体(9)进行保护气体的加热和填充。

3.根据权利要求1所述的一种具有等离子清洗功能的包封预热台,其特征在于:所述射频装置(7)用于在闭合腔体(9)内形成高频交变电场,使闭合腔体(9)内的气体形成等离子体。

4.根据权利要求1所述的一种具有等离子清洗功能的包封预热台,其特征在于:所述抽真空装置(8)可以使被清洗物表面物质变成的粒子和气态物质经过抽真空从闭合腔体(9)中排出。

5.根据权利要求1所述的一种具有等离子清洗功能的包封预热台,其特征在于:所述预热板(2)上设置有定位针(10),所述定位针(10)与待加热的引线框架上的定位孔相对应。

6.根据权利要求1所述的一种具有等离子清洗功能的包封预热台,其特征在于:所述预热板(2)的进料一侧设置有上料平台(11)和机械手(12),所述机械手(12)用于抓取上料平台(11)上的引线框架并放置到预热板(2)的指定位置上。

7.根据权利要求1所述的一种具有等离子清洗功能的包封预热台,其特征在于:所述预热板(2)的出料一侧设置有移栽小车(13),所述移栽小车(13)用于抓取预热后的引线框架并送入包封模具。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长电科技(宿迁)有限公司,未经长电科技(宿迁)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920445020.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top