[实用新型]光罩盒及其固持件

说明书

本实用新型提供了一种光罩盒及其固持件。其中，所述固持件主要包括一支持本体、至少一条状支持件、一弹性本体以及至少一固定孔。其中所述至少一条状支持件设于所述支持本体上，所述弹性本体具有至少一开口，且所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部。所述至少一固定孔则设于所述支持本体及所述弹性本体上。而所述固持件通过所述至少一固定孔设于一光罩盒内。

技术领域

本实用新型提供了一种光罩盒及其固持件，尤指一种由弹性本体包覆支持本体的固持件及使用其的光罩盒。

背景技术

在半导体制程的产业中，涉及黄光微影等蚀刻技术所使用的光罩，会依照制程使用的基板尺寸而有不同，而采用不同尺寸的光罩。

在众多种类的半导体制程中，用于制造薄膜晶体管液晶显示器(Thinfilmtransistor liquid crystal display，TFT－LCD)制程上所选用的基板和光罩通常具有较大的尺寸，才能够用来制成较大的半导体组件，并应用在大尺寸的面板中。

针对如此大尺寸的光罩，往往会需要特别的载具来协助提供其储存与传输。有鉴于大尺寸光罩实质上属于易碎的板状薄片，因此传统的大尺寸光罩储存盒内部四角周缘多会设有橡胶或硅胶制的固持件。通过大尺寸光罩盒上盖及下盖盖合时，以四个角上下共八个点抵持大尺寸光罩。提供一定的稳定和阻尼能力，减少大尺寸光罩因碰撞或晃动导致受损的问题。

同样的技术手段后来也被广泛的应用在各种尺寸的光罩储存或传送盒中。通过类似的技术手段保定光罩，减少其因物理碰撞而受损的机会。然而，类似的固持件仍具有一定的缺点。如硅胶或橡胶在使用久了之后，和光罩直接接触一段时间，容易造成黏滞于光罩上剥落，甚至是印痕于光罩的问题。然而，改用其他阻尼材料的效果，应用在光罩的固持作用时，其功效亦不佳。

实用新型内容

为解决背景技术所提到的问题，本实用新型提供了一种光罩盒及其固持件。首先，所述固持件主要包括一支持本体、至少一条状支持件、一弹性本体以及至少一固定孔。其中，所述至少一条状支持件设于所述支持本体上，所述弹性本体具有至少一开口，所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部。而所述至少一固定孔设于所述支持本体及所述弹性本体上。最后所述固持件通过所述至少一固定孔设于一光罩盒内。

基于本实用新型固持件的选用，本实用新型应用的光罩盒主要包括一上盖、一下盖以及至少一固持件。其中所述下盖与所述上盖配对密合形成一内表面，而所述至少一固持件设于所述内表面。

在所述光罩盒中，每个所述固持件包括一支持本体、至少一条状支持件、一弹性本体以及至少一固定孔。所述至少一条状支持件设于所述支持本体上，所述弹性本体具有至少一开口，所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部。而所述至少一固定孔设于所述支持本体及所述弹性本体上。

以上对本实用新型的简述，目的在于对本实用新型的数种面向和技术特征作一基本说明。实用新型简述并非对本实用新型的详细表述，因此其目的不在特别列举本实用新型的关键性或重要组件，也不是用来界定本实用新型的范围，仅为以简明的方式呈现本实用新型的数种概念而已。

附图说明

图1是本实用新型实施例固持件的结构示意图；

图2是本实用新型实施例支持本体和条状支持件的结构示意图；

图3是本实用新型实施例光罩盒的外观结构示意图；

图4是本实用新型实施例固持件的设置位置示意图；

图5是本实用新型实施例抵持光罩的剖面结构图。

附图标号说明：

10 固持件