[实用新型]光罩盒及其固持件

权利要求书

1.一种固持件，其特征在于，包括：

一支持本体；

至少一条状支持件，设于所述支持本体上；

一弹性本体，具有至少一开口，所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部；以及

至少一固定孔，设于所述支持本体及所述弹性本体上；

其中，所述固持件通过所述至少一固定孔设于一光罩盒内。

2.根据权利要求1所述的固持件，其特征在于，所述弹性本体周缘上更设有至少一稳定肋、至少一稳定翼或其组合。

3.一种光罩盒，其特征在于，包括：

一上盖；

一下盖，与所述上盖配对密合形成一内表面；以及

至少一固持件，设于所述内表面，每个所述固持件包括：一支持本体；至少一条状支持件，设于所述支持本体上；一弹性本体，具有至少一开口，所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部；以及至少一固定孔，设于所述支持本体及所述弹性本体上。

4.根据权利要求3所述的光罩盒，其特征在于，所述光罩盒为光罩传送盒、光罩储存盒或极紫外光光罩盒。

5.根据权利要求4所述的光罩盒，其特征在于，所述光罩储存盒的所述内表面四周缘各设有至少一卡榫槽，且每个所述固持件通过所述至少一固定孔固定于每个所述卡榫槽中。

6.根据权利要求4所述的光罩盒，其特征在于，所述光罩储存盒更承载一光罩，所述光罩尺寸规格为长800毫米且宽介于920-960毫米之间。

7.根据权利要求5所述的光罩盒，其特征在于，所述弹性本体周缘上更设有至少一稳定肋、至少一稳定翼或其组合。