[实用新型]晶圆运载盒

说明书

一种晶圆运载盒，包含外壳及限位单元。该外壳包括底座及可分离地盖合于该底座的上盖，该上盖具有第一导引部。该限位单元包括设于该上盖的上保持件及可拆离地设于该底座的卡匣件，该上保持件与该卡匣件适于共同将多个晶圆限位。该卡匣件具有第二导引部，该第二导引部与该第一导引部相配合以在该上盖与该底座盖合过程中导引该上盖与该卡匣件相互对位。借此可使晶圆运载盒的上盖在盖合过程中受到导引而确保上保持件与晶圆相对正，从而降低晶圆损伤或破裂的风险，并且能使上盖与底座较容易对位盖合。

技术领域

本实用新型涉及一种用于储存及运输物品的容器，特别是涉及一种用于储存及运输晶圆的晶圆运载盒。

背景技术

现今半导体业界用来运送晶圆的一种晶圆运载盒，通常包括一底座及一与该底座盖合的上盖。上盖内侧设有一上保持件，且在底座设有一可拆离的卡匣件。卡匣件具有多个插置晶圆用的沟槽，上保持件则具有多个分别与各沟槽对应的弹力臂，相邻的弹力臂之间具有缝隙，而各弹力臂上又设有凹槽。通过卡匣件的这些沟槽与上保持件的这些弹力臂以及凹槽，可以将多个晶圆保持定位，使晶圆之间不会互相碰撞。在将晶圆装载于晶圆运载盒时，通常是先将晶圆放置于卡匣件的各沟槽中，然后再将卡匣件放置于底座，最后再将上盖对正底座盖合。理想上，在上盖与底座盖合的过程中，上保持件的各弹力臂及其上的凹槽会对应各晶圆顶端的位置而将晶圆固持定位。

然而，容装有晶圆的卡匣件在被放置于底座中时，其位置会在一公差范围内变动，使得上盖在向底座盖合的过程中，上保持件也可能会相对于晶圆顶端的位置稍有偏差，因而使得上盖盖合于底座上之后，晶圆顶端经常没有正确地被容置于上保持件的凹槽内，导致晶圆被凹槽的侧壁挤压而破裂。再加上目前晶圆的厚度越来越薄，有些薄化晶圆的厚度甚至低达100μm以下，因此不仅极易受损，而且其较薄的厚度使得其在被放入卡匣件的沟槽内之后，与沟槽之间的间隙会较为宽大，因而容易产生较大的倾斜，致使这些薄化晶圆的顶端更容易插入上保持件的弹力臂间的缝隙而受损。

发明内容

本实用新型的其中一目的在于提供一种可以提高上保持件与晶圆相互对位的精确度、降低晶圆受损或破裂风险的晶圆运载盒。

本实用新型的晶圆运载盒在一些实施态样中，是包含外壳及限位单元。该外壳包括底座及可分离地盖合于该底座的上盖，该上盖具有第一导引部。该限位单元包括设于该上盖的上保持件及可拆离地设于该底座的卡匣件，该上保持件与该卡匣件适于共同将多个晶圆限位。该卡匣件具有第二导引部，该第二导引部与该第一导引部相配合以在该上盖与该底座盖合过程中导引该上盖与该卡匣件相互对位。

在一些实施态样中，该卡匣件具有两个彼此相对且相间隔的限位壁，所述限位壁各具有壁本体及顶侧凸缘。所述壁本体对应形成多个各自在上下方向延伸且彼此并排的沟槽，各该顶侧凸缘自其相连的该壁本体靠近该上盖的一端延伸且所述限位壁的所述顶侧凸缘彼此往相反且相互远离的方向延伸，该第二导引部形成于所述顶侧凸缘上。

在一些实施态样中，该上盖还具有顶壁及连接该顶壁周侧以与该底座相接的围绕壁。该第一导引部包括两个分别自该围绕壁的两相对的内表面朝向对侧凸出并在该上下方向延伸且呈长条形的凸块或凸肋，该第二导引部包括两个分别形成于所述顶侧凸缘且分别配合所述凸块或凸肋的缺口。

在一些实施态样中，各该顶侧凸缘分别形成有两个或以上的该缺口，该围绕壁与各该顶侧凸缘对应的内侧分别设置或形成有至少一个与所述缺口之一对应的该凸块或凸肋。

在一些实施态样中，该第一导引部与该第二导引部的相对位置构造成在该上盖与该底座盖合过程中先于该上保持件与晶圆接触前相互作用导引。

在一些实施态样中，该第一导引部的底端相较于该上保持件的最低处更靠近该底座的底面。

在一些实施态样中，该第二导引部相较于容置在该卡匣件的晶圆顶端更靠近该上盖顶面。