[实用新型]晶圆运载盒

权利要求书

1.一种晶圆运载盒，包含：外壳及限位单元；该外壳包括底座及可分离地盖合于该底座的上盖；该限位单元包括设于该上盖的上保持件及可拆离地设于该底座的卡匣件，该上保持件与该卡匣件适于共同将多个晶圆限位；其特征在于：

该上盖具有第一导引部，该卡匣件具有第二导引部，该第二导引部与该第一导引部相配合以在该上盖与该底座盖合过程中导引该上盖与该卡匣件相互对位。

2.根据权利要求1所述晶圆运载盒，其特征在于：该卡匣件具有两个彼此相对且相间隔的限位壁，所述限位壁各具有壁本体及顶侧凸缘，所述壁本体对应形成多个各自在上下方向延伸且彼此并排的沟槽，各该顶侧凸缘自其相连的该壁本体靠近该上盖的一端延伸且所述限位壁的所述顶侧凸缘彼此往相反且相互远离的方向延伸，该第二导引部形成于所述顶侧凸缘上。

3.根据权利要求2所述晶圆运载盒，其特征在于：该上盖还具有顶壁及连接该顶壁周侧以与该底座相接的围绕壁，该第一导引部包括两个分别自该围绕壁的两相对的内表面朝向对侧凸出并在该上下方向延伸且呈长条形的凸块或凸肋，该第二导引部包括两个分别形成于所述顶侧凸缘且分别配合所述凸块或凸肋的缺口。

4.根据权利要求3所述晶圆运载盒，其特征在于：各该顶侧凸缘分别形成有两个或以上的该缺口，该围绕壁与各该顶侧凸缘对应的内侧分别设置或形成有至少一个与所述缺口之一对应的该凸块或凸肋。

5.根据权利要求1所述晶圆运载盒，其特征在于：该第一导引部与该第二导引部的相对位置构造成在该上盖与该底座盖合过程中先于该上保持件与晶圆接触前相互作用导引。

6.根据权利要求5所述晶圆运载盒，其特征在于：该第一导引部的底端相较于该上保持件的最低处更靠近该底座的底面。

7.根据权利要求5所述晶圆运载盒，其特征在于：该第二导引部相较于容置在该卡匣件的晶圆顶端更靠近该上盖顶面。