[实用新型]高功率紫外激光物镜、空间滤波装置

说明书

本申请公开了一种高功率紫外激光物镜、空间滤波装置，包括：镜片和镜筒，所述镜片设置于所述镜筒的一端；所述镜片和所述镜筒共光轴；所述镜片的数量为一片。该物镜对于小孔径的光束，其不但可以用于高功率紫外激光，而且可以产生接近衍射极限的波前。

技术领域

本申请涉及一种高功率紫外激光物镜、空间滤波装置，属于光学仪器领域。

背景技术

为了提高两束干涉激光的空间相干性，在全息照相技术中需要对两束激光进行空间滤波。空间滤波需要用一个显微物镜来聚焦激光光束，然后再用一个小孔来滤掉杂光。

目前国内市场上能实现高功率紫外激光下成像的显微物镜很少，大部分显微物镜仅用于可见光。国外市场上虽然有THORLABS、Nikon和Olympus等品牌的产品，但是这些产品在使用过程中存在：紫外激光阈值不够高，而且滤波后的波前质量也不够好。

上述问题，主要是由于现有显微镜中物镜部分镜片数量大于两片造成的。虽然镜片越多，数值孔径越大，但是镜片越多物镜部分装配后越容易偏心，降低了激光的波前质量；而且镜片越多，激光经过的材料厚度越大，降低了抗损伤阈值。

实用新型内容

根据本申请的一个方面，提供了一种高功率紫外激光物镜，该物镜对于小孔径的光束，其不但可以用于高功率紫外激光，而且可以产生接近衍射极限的波前。

所述高功率紫外激光物镜，其特征在于，包括：镜片和镜筒，所述镜片设置于所述镜筒的一端；

所述镜片和所述镜筒共光轴；

所述镜片的数量为一片。

可选地，所述镜片沿光轴相对地两端面中的一面为非球面，另一面为球面。

可选地，所述镜片为特种玻璃镜片；所述特种玻璃镜片的紫外激光抗损伤阈值大于200mW/mm²。

可选地，所述镜片沿光轴方向的厚度小于4mm。

可选地，所述镜片表面设置紫外激光材料镀膜层。

可选地，所述镜筒的表面设有氧化发黑层。

可选地，包括：镜片座，所述镜筒的一端外壁上设置接口螺纹，另一端内设置所述镜片座，所述镜片安装于所述镜片座上。

可选地，所述接口螺纹的规格为0.80-36THD。

可选地，所述镜筒靠近所述接口螺纹一端的所述镜筒外壁上设置滚花直纹；所述滚花直纹与所述接口螺纹间隔设置且凸出于所述镜筒外壁。

本申请中，高功率紫外激光物镜中的“高功率”，是指紫外激光的功率大于200mW。

本申请中，“非球面”，是指半径不固定的镜面。

本申请中，“球面”，是指半径固定的镜面。

根据本申请的又一个方面，提供了一种空间滤波装置，包括：如上述的高功率紫外激光物镜和小孔滤波器，所述小孔滤波器与所述高功率紫外激光物镜光路连接。

本申请能产生的有益效果包括：

1)本申请所提供的高功率紫外激光物镜，仅需设置一片镜片即可在保证抗损伤阈值、激光的波前质量的同时，避免组装后物镜偏心。该高功率紫外激光物镜用于聚焦光束。

2)本申请所提供的高功率紫外激光物镜，可以用于激光器波长325nm，激光器功率50mW，激光光束直径1.2mm，激光束发散角＜0.5mrad，显微物镜工作距离2～6.5um，小孔滤波器厚度15.24um，准直镜焦距800mm的空间滤波装置中。

附图说明

图1为本申请一种实施方式中高功率紫外激光物镜结构示意图；