[实用新型]高功率紫外激光物镜、空间滤波装置有效
| 申请号： | 201920426819.2 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN209842190U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 张新彬;陈怀熹;李广伟;冯新凯;古克义;梁万国;黄玉宝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G02B7/00;G02B21/02 |
| 代理公司： | 11540 北京元周律知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡璇 |
| 地址： | 350002 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镜片 镜筒 高功率紫外激光 物镜 空间滤波装置 衍射极限 共光轴 小孔径 申请 | ||
1.一种高功率紫外激光物镜，其特征在于，包括：镜片和镜筒，所述镜片设置于所述镜筒的一端；
所述镜片和所述镜筒共光轴；
所述镜片的数量为一片；
所述镜片的紫外激光抗损伤阈值大于200mW/mm2。
2.根据权利要求1所述的高功率紫外激光物镜，其特征在于，所述镜片沿光轴相对地两端面中的一面为非球面，另一面为球面。
3.根据权利要求1所述的高功率紫外激光物镜，其特征在于，所述镜片沿光轴方向的厚度小于4mm。
4.根据权利要求1所述的高功率紫外激光物镜，其特征在于，所述镜片表面设置紫外激光材料镀膜层。
5.根据权利要求1所述的高功率紫外激光物镜，其特征在于，所述镜筒的表面设有氧化发黑层。
6.根据权利要求1所述的高功率紫外激光物镜，其特征在于，包括：镜片座，所述镜筒的一端外壁上设置接口螺纹，另一端内设置所述镜片座，所述镜片安装于所述镜片座上。
7.根据权利要求6所述的高功率紫外激光物镜，其特征在于，所述接口螺纹的规格为0.80-36THD。
8.根据权利要求6所述的高功率紫外激光物镜，其特征在于，所述镜筒靠近所述接口螺纹一端的所述镜筒外壁上设置滚花直纹；所述滚花直纹与所述接口螺纹间隔设置且凸出于所述镜筒外壁。
9.一种空间滤波装置，其特征在于，包括：如权利要求1～8中任一项所述的高功率紫外激光物镜和小孔滤波器，所述小孔滤波器与所述高功率紫外激光物镜光路连接。
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