[实用新型]一种固定装置及采用该固定装置的刻蚀设备

权利要求书

1.一种固定装置，其特征在于，包括：

本体，包括相对设置的第一表面与第二表面，

凹槽，设置于所述本体中，所述凹槽自所述第一表面开口，并往所述第二表面方向延伸；

至少两个弹性部件，设置于所述凹槽的底面，用于抵住进入所述凹槽中的待固定物品，将所述待固定物品固定于与所述本体相对设置的支撑装置外表面。

2.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述弹性部件包括弹簧。

3.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述弹性部件的数量范围是2-100。

4.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述弹性部件通过焊接、卡固或粘贴方式固定于所述凹槽的底面。

5.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述本体中设有至少两个安装孔，所述安装孔贯穿所述第一表面与所述第二表面，其中，所述安装孔用于与紧固件配合，将所述本体固定于所述支撑装置外表面。

6.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述本体中设有至少一个通光孔，所述通光孔贯穿所述凹槽的底面与所述第二表面。

7.一种刻蚀设备，其特征在于，包括：

腔体；

腔体外壳；

刻蚀终点侦测窗口，贯穿所述腔体外壳的外表面，并与所述腔体连通；

透光平板，通过固定装置固定于所述腔体外壳外表面，并盖住所述刻蚀终点侦测窗口；

刻蚀终点侦测装置，装设于所述固定装置的外表面，并与所述刻蚀终点侦测窗口相对；

其中，所述固定装置包括：

本体，包括相对设置的第一表面与第二表面，

凹槽，设置于所述本体中以容置所述透光平板，所述凹槽自所述第一表面开口，并往所述第二表面方向延伸；

至少两个弹性部件，设置于所述凹槽的底面，用于抵住所述透光平板的外表面，将所述透光平板固定于所述腔体外壳外表面。

8.根据权利要求7所述的刻蚀设备，其特征在于：所述弹性部件包括弹簧。

9.根据权利要求7所述的刻蚀设备，其特征在于：所述弹性部件的数量范围是2-100。

10.根据权利要求7所述的刻蚀设备，其特征在于：所述弹性部件通过焊接、卡固或粘贴方式固定于所述凹槽的底面。

11.根据权利要求7所述的刻蚀设备，其特征在于：所述本体中设有至少两个安装孔，所述安装孔贯穿所述第一表面与所述第二表面，其中，所述安装孔用于与紧固件配合，将所述本体固定于所述腔体外壳外表面。

12.根据权利要求7所述的刻蚀设备，其特征在于：所述本体中设有至少一个通光孔，所述通光孔贯穿所述凹槽的底面与所述第二表面，以容许来自所述腔体内的光线通过所述通光孔到达所述刻蚀终点侦测装置。

13.根据权利要求7所述的刻蚀设备，其特征在于：所述透光平板与所述腔体外壳之间设有密封圈。