[实用新型]扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置

说明书

本实用新型公开了一种扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置，包括桶主体和搅拌系统，桶主体包括桶体和桶盖；所述桶盖上设有抽真空口和进料口；所述进料口的下端口连接一弯管，弯管出口朝向桶体内壁，且弯管出口靠近桶体内壁；弯管出口下方设有一固定于桶体内壁的楔形档块，当浆料从弯管出口流出正好流到楔形档块上表面，之后浆料沿楔形档块的斜面被引流到桶体内壁，并沿桶体内壁流下。本实用新型通过设置导流的弯管和引流的楔形档块，将浆料引流至沿桶壁流下，以此来减缓浆料下流的流速，避免进料过程中产生新气泡；另外，沿桶壁流下的浆料与空气接触面积更大，负压作用的影响面更大，有利于将浆料内的气泡快速抽出，提高脱泡效率和脱泡效果。

技术领域

本实用新型涉及浆料的脱泡技术，具体为一种扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置。

背景技术

目前，脱泡作业时，将珠磨后的浆料直接注入真空脱泡桶内，浆料自由滴下。待注完浆料后将脱泡桶内抽真空至-1atm，通过创造负压将藏于浆料内的气泡抽至液面，液面的气泡与空气接触后因表面张力的改变而破泡，从而达到除泡的效果。例如，公告号为CN206187645 U的中国实用新型专利《一种工业用真空脱泡桶》，其中所公开的真空脱泡桶就是这类。

采用这类脱泡桶对浆料进行脱泡作业时，是先注满浆料，之后再负压脱泡。待浆料注满后进行脱泡，存在于浆料内部和底部的气泡需要耗费较长时间才能抽至液面，而且气泡还难以完全抽出。因此，这类真空脱泡桶及其对应的脱泡方法存在脱泡时间长、脱泡效率低且脱泡效果差的问题。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种脱泡效率高、脱泡效果优的扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置。

本实用新型提供的扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置，包括桶主体和搅拌系统，所述桶主体包括桶体和桶盖，桶体用来容纳浆料，搅拌系统用来对浆料进行搅拌；所述桶盖上设有抽真空口和进料口；所述进料口的下端口连接一弯管，弯管出口朝向桶体内壁，且弯管出口靠近桶体内壁；弯管出口下方设有一固定于桶体内壁的楔形档块，当浆料从弯管出口流出正好流到楔形档块上表面，之后浆料沿楔形档块的斜面被引流到桶体内壁，并沿桶体内壁流下。

作为优选，将楔形档块设为环型或半环型，可进一步增加浆料与空气的接触面积。

进一步的，桶体外侧壁设有锁扣，桶盖侧边设有与锁扣位置对应的螺纹孔，螺杆穿过螺纹孔且螺杆底端和锁扣固定连接。

作为优选，锁扣数量为2，且均布于桶体外侧壁；同样的螺杆数量也对应为2。

作为优选，螺杆端头和桶盖之间还设有垫片，用来增加桶体和桶盖之间的密封性。

进一步的，所述桶体底部设有出料口。

进一步的，搅拌系统包括设于桶体内的搅拌轴、设于搅拌轴上的搅拌浆、以及驱动搅拌轴的电机，电机设于桶盖顶部。

与现有技术相比，本实用新型具有如下优点和有益效果：

（1）本实用新型通过设置用来导流的弯管和用来引流的楔形档块，将浆料引流至沿桶壁流下，以此来减缓浆料下流的流速，从而避免进料过程中产生新气泡；另外，沿桶壁流下的浆料，与空气接触面积更大，负压作用的影响面更大，有利于将浆料内的气泡快速抽出，从而提高脱泡效率和脱泡效果。

（2）本实用新型的优选方案是，设计环型或半环型的楔形档块；当设计为环型，浆料将沿整壁桶壁流下；当设计为半环型，浆料将沿半壁桶壁流下；均增加了浆料与空气的接触面积，有利于进一步提高脱泡效率和脱泡效果。

附图说明

图1为实施例1中脱泡装置的外观示意图，该图中未画出由锁扣和螺杆构成的连接机构；

图2为实施例1中脱泡装置的剖视图；

图3为实施例1中弯管和楔形档块的局部示意图；