[实用新型]一种靶材真空焊接系统有效
| 申请号： | 201920393096.0 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN210334659U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 臧龙杰 | 申请（专利权）人： | 昆山世高新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K3/00 | 分类号： | B23K3/00;B23K3/08;B23K37/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 焊接 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材真空焊接系统，其特征在于，包括底板以及位于底板上方的真空罩，所述真空罩通过气管连接设有真空泵系统，所述真空罩内部底侧设有背板区域，所述背板区域上方设有焊接层，所述焊接层为胶焊接层，所述焊接层上方设有靶材区域。
2.根据权利要求1所述的一种靶材真空焊接系统，其特征在于，所述真空罩为半圆弧状。
3.根据权利要求1所述的一种靶材真空焊接系统，其特征在于，所述背板区域长度大于焊接层长度，所述焊接层长度不小于所述靶材区域长度。
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