[实用新型]一种利于晶圆清洗的等离子腔体有效
| 申请号： | 201920380533.5 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN209715929U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 郭峰;国际瑞;陈晓明;王宇 | 申请（专利权）人： | 昆山普乐斯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人： | 母秋松;董建林<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 215313 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铝管 导轨 箱门 清洗 本实用新型 等离子腔体 箱体两侧壁 边缘对称 抽真空口 弹性卡珠 二次污染 铰链转动 晶圆清洗 晶圆托架 清洗效果 相邻设置 箱体背面 箱体内壁 箱体正面 一字排列 移动连接 电极板 进气孔 圆通槽 自由端 门锁 晶圆 内壁 腔体 穿过 贯穿 维护 | ||
1.一种利于晶圆清洗的等离子腔体，包括：箱体，其特征在于：所述箱体两侧壁之间贯穿有多对铝管组，每对铝管组上下相邻设置，铝管组包括多根铝管，多根铝管一字排列，铝管一端固定在箱体一侧内壁，铝管另一端穿过箱体另一侧壁，铝管的末端均通过电极板相连接；箱体背面设置有抽真空口；箱体正面通过铰链转动连接有箱门，箱门自由端设置有门锁，箱门上设置有进气孔；所述箱体内壁设置有导轨，所述导轨包括：安装架，所述安装架包括：本体，本体上方设置有上挡板，本体后端设置有后挡板，本体上水平排列有多个侧滚机构，所述侧滚机构包括安装在本体内的套筒，套筒前端活动卡接有滚珠；所述侧滚机构下方的本体上通过固定柱水平固定有多个凸轮轴承；所述导轨内移动连接有晶圆托架，所述晶圆托架包括：支架，支架之间设置托板，托板上开设置有晶圆通槽，晶圆通槽下边缘设置有凸台，晶圆通槽边缘对称设置有弹性卡珠。
2.根据权利要求1所述的一种利于晶圆清洗的等离子腔体，其特征在于：所述箱体一侧内壁设置有凹槽，凹槽内设置有套筒，另一侧壁上设置有通孔，通孔内设置有卡接头，铝管一端可拆卸地与套筒相连接，铝管另一端从通孔一端穿入，从卡接头另一端穿出，卡接头出口处还套接有密封圈，密封圈与卡接头通过密封盖相固定，所述套筒与卡接头均采用绝缘材质。
3.根据权利要求1所述的一种利于晶圆清洗的等离子腔体，其特征在于：所述箱体底部设置有定位块。
4.根据权利要求1所述的一种利于晶圆清洗的等离子腔体，其特征在于：所述箱门上设置有观察窗。
5.根据权利要求2所述的一种利于晶圆清洗的等离子腔体，其特征在于：所述密封圈采用硅胶材质。
6.根据权利要求1所述的一种利于晶圆清洗的等离子腔体，其特征在于：所述铝管组设置为两对，铝管组由6-10根铝管组成。
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