[实用新型]一种硅片百片整形上料设备有效
申请号: | 201920379226.5 | 申请日: | 2019-03-25 |
公开(公告)号: | CN209496844U | 公开(公告)日: | 2019-10-15 |
发明(设计)人: | 申灿;刘春宇;王兵;杨晓华;沈传军;陈大剑;唐中 | 申请(专利权)人: | 常州华数锦明智能装备技术研究院有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68;H01L31/18 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 孙永智 |
地址: | 213100 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 托举机构 整形 本实用新型 上料设备 片夹 设备机架 整形机构 上表面 堆叠 载台 工位更换 工作效率 硅片损失 可追溯性 系统信息 装料 灵活的 四角处 支撑板 工位 下端 输出 | ||
本实用新型公开了一种硅片百片整形上料设备,包括设备机架,所述设备机架的上表面固定安装有一个硅片托举机构,所述硅片托举机构上固定安装有一个片夹输送载台,所述片夹输送载台的正上方设有一个硅片堆叠整形机构,所述硅片堆叠整形机构的下端分别固定连接在硅片托举机构上表面的四角处,所述硅片托举机构包括支撑板,本实用新型的有益效果是:本实用新型一种硅片百片整形上料设备,其结构新颖,操作简单,使用方便,通过前后端的输入、输出,方便灵活的实现本工位的硅片百片整形、片夹工位更换装料,提高生产率,节省人工,减少硅片损失,提高工作效率和质量,且系统信息同步跟随,提高了产品的可追溯性。
技术领域
本实用新型涉及一种整形上料设备,特别涉及一种薄片硅片百片上料设备,属于太阳能光伏设备技术领域。
背景技术
由于黑硅片属于易碎品,硅片单片厚度只有0.2mm,采用周转箱运输;在上料端需要人工将一百片硅片放到上料片夹中,上料片夹再送入生产线进行制绒生产;由于硅片具有薄而易碎的特性,在上料过程中容易产生碰边、碎边,信息追溯性差,重复劳动大,效率不高,人员依赖性强。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种硅片百片整形上料设备,以解决上述背景技术中提到的问题。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:
本实用新型一种硅片百片整形上料设备,包括设备机架,所述设备机架的上表面固定安装有一个硅片托举机构,所述硅片托举机构上固定安装有一个片夹输送载台,所述片夹输送载台的正上方设有一个硅片堆叠整形机构,所述硅片堆叠整形机构的下端分别固定连接在硅片托举机构上表面的四角处。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述硅片托举机构包括支撑板,所述支撑板固定连接在设备机架的上表面,所述支撑板的上表面固定连接有两条第一直线导轨,两条所述第一直线导轨上均滑动连接有一个呈竖直状设置的伺服电缸,两个所述伺服电缸的下端均贯穿支撑板并延伸向下延伸,两个所述伺服电缸的输出端均贯穿第一直线导轨的上端并向上延伸且固定连接有一个电缸顶板,所述支撑板的上表面关于两条第一直线导轨中心线的位置固定连接有一个电缸移动气缸,所述电缸移动气缸的输出端固定连接在两个伺服电缸上。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述片夹输送载台包括支架,所述支架固定安装在设备机架的上表面,所述支架上表面的其中一侧边缘处滑动连接有两块限位块,所述支架的下表面对应两块限位块的位置均固定连接有一个驱动电机,所述支架的下表面远离驱动电机的一侧边缘处固定连接有两个旋转夹紧气缸,所述支架的两相反侧壁上均固定连接有一个侧推夹紧气缸,所述支架的上表面放置有四个上料片夹,其中两个所述上料片夹的其中一侧侧壁均与对应的限位块相抵,两个所述侧推夹紧气缸的输出端分别与四个上料片夹的对应侧壁相抵,两个所述旋转夹紧气缸的输出端分别与两个对应的上料片夹相抵。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造