[实用新型]一种硅片百片整形上料设备有效

专利信息
申请号: 201920379226.5 申请日: 2019-03-25
公开(公告)号: CN209496844U 公开(公告)日: 2019-10-15
发明(设计)人: 申灿;刘春宇;王兵;杨晓华;沈传军;陈大剑;唐中 申请(专利权)人: 常州华数锦明智能装备技术研究院有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/68;H01L31/18
代理公司: 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 代理人: 孙永智
地址: 213100 江苏省常州*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 硅片 托举机构 整形 本实用新型 上料设备 片夹 设备机架 整形机构 上表面 堆叠 载台 工位更换 工作效率 硅片损失 可追溯性 系统信息 装料 灵活的 四角处 支撑板 工位 下端 输出
【权利要求书】:

1.一种硅片百片整形上料设备,其特征在于,包括设备机架(1),所述设备机架(1)的上表面固定安装有一个硅片托举机构(2),所述硅片托举机构(2)上固定安装有一个片夹输送载台(3),所述片夹输送载台(3)的正上方设有一个硅片堆叠整形机构(4),所述硅片堆叠整形机构(4)的下端分别固定连接在硅片托举机构(2)上表面的四角处。

2.根据权利要求1所述的一种硅片百片整形上料设备,其特征在于,所述硅片托举机构(2)包括支撑板(25),所述支撑板(25)固定连接在设备机架(1)的上表面,所述支撑板(25)的上表面固定连接有两条第一直线导轨(22),两条所述第一直线导轨(22)上均滑动连接有一个呈竖直状设置的伺服电缸(21),两个所述伺服电缸(21)的下端均贯穿支撑板(25)并延伸向下延伸,两个所述伺服电缸(21)的输出端均贯穿第一直线导轨(22)的上端并向上延伸且固定连接有一个电缸顶板(23),所述支撑板(25)的上表面关于两条第一直线导轨(22)中心线的位置固定连接有一个电缸移动气缸(24),所述电缸移动气缸(24)的输出端固定连接在两个伺服电缸(21)上。

3.根据权利要求1所述的一种硅片百片整形上料设备,其特征在于,所述片夹输送载台(3)包括支架(35),所述支架(35)固定安装在设备机架(1)的上表面,所述支架(35)上表面的其中一侧边缘处滑动连接有两块限位块(34),所述支架(35)的下表面对应两块限位块(34)的位置均固定连接有一个驱动电机(31),所述支架(35)的下表面远离驱动电机(31)的一侧边缘处固定连接有两个旋转夹紧气缸(33),所述支架(35)的两相反侧壁上均固定连接有一个侧推夹紧气缸(32),所述支架(35)的上表面放置有四个上料片夹(36),其中两个所述上料片夹(36)的其中一侧侧壁均与对应的限位块(34)相抵,两个所述侧推夹紧气缸(32)的输出端分别与四个上料片夹(36)的对应侧壁相抵,两个所述旋转夹紧气缸(33)的输出端分别与两个对应的上料片夹(36)相抵。

4.根据权利要求1所述的一种硅片百片整形上料设备,其特征在于,所述硅片堆叠整形机构(4)包括固定架(410),所述固定架(410)固定连接在支撑板(25)上表面的四角处,所述固定架(410)的上表面固定连接有两条第二直线导轨(42),两条所述第二直线导轨(42)上共同滑动连接有一个安装架(411),所述固定架(410)其中一侧的侧壁上固定连接有工位转换气缸(41),所述工位转换气缸(41)的上端固定连接在安装架(411)的下表面,所述安装架(411)其中一侧的侧壁上螺纹连接有一根前后夹紧丝杆(45),所述前后夹紧丝杆(45)的两端均贯穿安装架(411)的对应侧壁并向外延伸,所述前后夹紧丝杆(45)位于安装架(411)外的其中一端固定连接有一个前后夹紧电机(44),所述前后夹紧电机(44)远离前后夹紧丝杆(45)的一端固定连接有两片前后夹紧板(43),所述安装架(411)的两相对侧壁之间通过轴承转动连接一根左右夹紧丝杆(48),所述左右夹紧丝杆(48)的其中一端贯穿安装架(411)的对应侧壁并向外延伸,所述安装架(411)的上表面对应左右夹紧丝杆(48)的位置固定连接有一个左右夹紧电机(49),所述左右夹紧电机(49)的输出端固定连接在左右夹紧丝杆(48)位于安装架(411)外的一端,所述安装架(411)的上表面固定连接有一个第三直线导轨(47),所述第三直线导轨上滑动连接有两组左右夹紧板(46),每组所述左右夹紧板(46)均包括两块呈对称设置的左右夹紧板(46),位于所述安装架(411)的两相对侧壁内的左右夹紧丝杆(48)杆壁上的螺纹关于每组两块左右夹紧板(46)呈对称状设置,四块所述左右夹紧板(46)均与左右夹紧丝杆(48)向螺纹连接。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州华数锦明智能装备技术研究院有限公司,未经常州华数锦明智能装备技术研究院有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920379226.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top