[实用新型]一种微孔陶瓷吸附载台

说明书

本实用新型适用于液晶显示面板加工领域，提供了一种微孔陶瓷吸附载台，该微孔陶瓷吸附载台由N个微孔陶瓷吸附载台单元拼接组成，N为大于1的正整数，每个微孔陶瓷吸附载台单元包括载台底座、微孔陶瓷吸附块和填充块，其中，微孔陶瓷吸附块间隔地安装在载台底座的顶面上，填充块安装在微孔陶瓷吸附块之间的间隙中。每个微孔陶瓷吸附载台单元可用于单独吸附加工件，而由多个微孔陶瓷吸附载台单元拼接成的微孔陶瓷吸附载台，其吸附面积增大，适用于对不同尺寸规格的加工件进行吸附。

技术领域

本实用新型属于液晶显示面板加工领域，尤其涉及一种微孔陶瓷吸附载台。

背景技术

一般在液晶显示面板加工制程中，通常会利用一载台来承载及固定该液晶显示面板，以方便制程作业。早期用于承载液晶显示面板的载台结构为金属材质，且顶面具有多数负压气孔，而一侧面具有与该多数负压气孔相连通的一气口供与一负压装置连接，然后可利用该负压装置使该负压气孔产生吸力以供将该液晶显示面板吸附固定在该载台上以便于液晶显示面板各制程的作业。但由于金属载台具有导热及导电性，当其承载液晶显示面板进行摩擦(Rubbing)等制程作业时，会产生较大的温度变化，从而影响到液晶配向，进而使得Rubbing 的质量与密度不易控制。而且，该金属载台承载该液晶显示面板进行Rubbing等制程作业时，会产生较大的摩擦力，易使液晶显示面板产生磨损。

作为改进，现在各种半导体生产过程中常用微孔陶瓷板作为吸附及承载的专用工具，微孔陶瓷是一种在陶瓷内部或表面含有大量开口或微小气孔的陶瓷体，其孔径一般为微米级或亚微米级。将微孔陶瓷板的吸附性应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序，其优点在于平面度、平行度好，组织致密均匀，强度高，通透性好，吸附力均匀且易于修整。随着科学技术的发展，液晶显示面板等加工件的尺寸范围越来越大，而传统的吸附载台装置由于尺寸固定，不能适用于各种尺寸规格的加工件。

实用新型内容

本实用新型提供了一种微孔陶瓷吸附载台，旨在解决现有技术提供的吸附载台装置无法适用于各种尺寸规格的加工件的技术问题。

本实用新型是这样实现的：一种微孔陶瓷吸附载台，由N个微孔陶瓷吸附载台单元拼接组成，N为大于1的整数；

每个所述微孔陶瓷吸附载台单元包括载台底座、微孔陶瓷吸附块和填充块；

其中，所述微孔陶瓷吸附块间隔地安装在所述载台底座的顶面上，所述填充块安装在所述微孔陶瓷吸附块之间的间隙中。

进一步地，每个所述微孔陶瓷吸附载台单元的载台底座上设置有螺栓孔，多个所述微孔陶瓷吸附载台单元拼接成整体的载台结构后，所述微孔陶瓷吸附载台单元通过螺栓连接板与相邻的所述微孔陶瓷吸附载台单元连接在一起。

进一步地，所述载台底座上的填充块之间设置有贯通所述载台底座顶面和底面的通孔。

进一步地，所述微孔陶瓷吸附块包括吸附底板和微孔陶瓷吸附板；

所述吸附底板的底面与所述载台底座的顶面连接，所述吸附底板的顶面与所述微孔陶瓷吸附板连接；

所述吸附底板的顶面为沟槽面。

进一步地，所述吸附底板上设置有从其沟槽面贯通到底面的导气孔，且所述吸附底板的底面上设置有一端与所述导气孔连通的导气槽；

所述载台底座上还设置有贯通其顶面和底面且与所述导气槽的另一端连通的导气孔。

本实用新型与现有技术相比，有益效果在于：本实用新型提供的每个微孔陶瓷吸附载台单元可用于单独吸附加工件，由多个微孔陶瓷吸附载台单元拼接成的微孔陶瓷吸附载台，其吸附面积增大，适用于对不同尺寸规格的加工件进行吸附。

附图说明