[实用新型]一种微孔陶瓷吸附载台有效
| 申请号： | 201920370015.5 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN210046549U | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 谢圣君;王昌焱;徐新峰;房用桥;李士杰;范吉鹏;孙左峰;万柯;汤治飞;汤华斌;范祥鑫;刘振强;谢飞;张董洁;吕启涛;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 44312 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 赵胜宝 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸附 微孔陶瓷 载台 单元拼接 加工件 底座 填充 液晶显示面板 本实用新型 面积增大 正整数 可用 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种微孔陶瓷吸附载台，其特征在于，所述微孔陶瓷吸附载台由N个微孔陶瓷吸附载台单元拼接组成，N为大于1的整数；
每个所述微孔陶瓷吸附载台单元包括载台底座、微孔陶瓷吸附块和填充块；
其中，所述微孔陶瓷吸附块间隔地安装在所述载台底座的顶面上，所述填充块安装在所述微孔陶瓷吸附块之间的间隙中。
2.如权利要求1所述的微孔陶瓷吸附载台，其特征在于，每个所述微孔陶瓷吸附载台单元的载台底座上设置有螺栓孔，多个所述微孔陶瓷吸附载台单元拼接成整体的载台结构后，所述微孔陶瓷吸附载台单元通过螺栓连接板与相邻的所述微孔陶瓷吸附载台单元连接在一起。
3.如权利要求1所述的微孔陶瓷吸附载台，其特征在于，所述载台底座上的填充块之间设置有贯通所述载台底座顶面和底面的通孔。
4.如权利要求1所述的微孔陶瓷吸附载台，其特征在于，所述微孔陶瓷吸附块包括吸附底板和微孔陶瓷吸附板；
所述吸附底板的底面与所述载台底座的顶面连接，所述吸附底板的顶面与所述微孔陶瓷吸附板连接；
所述吸附底板的顶面为沟槽面。
5.如权利要求4所述的微孔陶瓷吸附载台，其特征在于，所述吸附底板上设置有从其沟槽面贯通到底面的导气孔，且所述吸附底板的底面上设置有一端与所述导气孔连通的导气槽；
所述载台底座上还设置有贯通其顶面和底面且与所述导气槽的另一端连通的导气孔。
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