[实用新型]一种芯片批量转移装置有效
申请号: | 201920365943.2 | 申请日: | 2019-03-21 |
公开(公告)号: | CN209526073U | 公开(公告)日: | 2019-10-22 |
发明(设计)人: | 丁鲲鹏;黄冕 | 申请(专利权)人: | 深圳中科四合科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 深圳众赢通宝知识产权代理事务所(普通合伙) 44423 | 代理人: | 翁治林 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 贴片件 芯片承载平台 承载平台 芯片 顶推件 贴片 搬运 相对独立 转移装置 竖直 贴装 水平方向设置 本实用新型 可移动设置 叠加设置 竖直运动 水平运动 可定位 通用的 对位 吸嘴 垂直 | ||
1.一种芯片批量转移装置,其特征在于,包括芯片承载平台(2)、待贴片件承载平台(4)和顶推件(5),
所述芯片承载平台(2)和待贴片件承载平台(4)沿水平方向设置,所述芯片承载平台(2)和待贴片件承载平台(4)竖直叠加设置,所述芯片承载平台(2)和待贴片件承载平台(4)沿水平方向可相对独立运动且可定位设置;
所述顶推件(5)沿竖直方向可移动设置。
2.如权利要求1所述芯片批量转移装置,其特征在于,所述芯片承载平台(2)设置有扩晶环放置位,所述扩晶环放置位设置有用于定位扩晶环(6)的定位孔、定位柱或定位台。
3.如权利要求1所述芯片批量转移装置,其特征在于,所述顶推件(5)设置有多个顶针,每个顶针可以顶推一个待贴装的芯片,各个顶针可以单独或同时顶推待贴装的芯片。
4.如权利要求1所述芯片批量转移装置,其特征在于,贴片前,所述芯片承载平台(2)和待贴片件承载平台(4)的高度差可调节设置,贴片过程中,所述芯片承载平台(2)和待贴片件承载平台(4)的高度差固定设置。
5.如权利要求1所述芯片批量转移装置,其特征在于,所述顶推件(5)为顶针,所述顶针的端面设置有紫外光孔(51)或加热部位(52);
所述芯片承载平台(2)上设置有用于粘贴芯片的蓝膜;
所述顶推件(5)向下顶推蓝膜的过程中,所述蓝膜的粘性在紫外光或热作用下降低或消失。
6.如权利要求5所述芯片批量转移装置,其特征在于,还包括引导板(7),所述引导板(7)设置在所述芯片承载平台(2)上;
所述引导板(7)设置有多个导引槽(71),每个导引槽(71)内设置一个芯片(1);
所述导引槽(71)上下开口,所述导引槽(71)的上部开口大于下部开口,所述导引槽(71)的周边从下向上向外倾斜设置,所述顶推件(5)将待贴装的芯片(1)从所述蓝膜推进所述导引槽(71)的上部开口。
7.如权利要求1所述芯片批量转移装置,其特征在于,还包括引导板(7),所述引导板(7)设置在所述芯片承载平台(2)上;
所述引导板(7)设置有多个导引槽(71),每个导引槽(71)内设置一个芯片(1);
所述导引槽(71)上下开口,所述导引槽(71)的上部开口大于下部开口,所述导引槽(71)的周边从下向上向外倾斜设置;
所述导引槽(71)的下部开口处设置有可伸出和收回的芯片承载边,每个所述导引槽(71)用于放置一个待贴装的芯片。
8.一种芯片批量转移装置,其特征在于,包括芯片承载平台(2)、待贴片件承载平台(4)和顶推件(5),
所述芯片承载平台(2)和待贴片件承载平台(4)沿竖直方向设置,所述芯片承载平台(2)和待贴片件承载平台(4)水平叠加设置,所述芯片承载平台(2)和待贴片件承载平台(4)沿竖直方向可相对独立运动且可定位设置;
所述顶推件(5)沿水平方向可移动设置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造