[实用新型]一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极

说明书

本实用新型涉及一种电极，具体是一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管及设置在加热管下端的电极，所述加热管设置在真空腔体内部；所述电极通过安装法兰固定在真空腔体下端，电极上端贯穿在真空腔体内部，电极上端设有导电柱，导电柱和加热管为可拆卸式连接。本实用新型加热管与电极螺纹配合安装，方便拆卸，利于加热管更换维修；大气环境的电流通过电极传导给真空腔体内部真空环境中的加热管，进行工作。进而解决了传统的电极和加热管焊接为一体造成拆卸更换维修不便的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种电极，具体是一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极。

背景技术

原子层沉积，是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。电极，电子或电器装置、设备中的一种部件，用做导电介质(固体、气体、真空或电解质溶液)中输入或导出电流的两个端。输入电流的一极叫阳极或正极，放出电流的一极叫阴极或负极。

应用在原子层沉积设备中的空式电极是通过大气和真空腔体式的常用连接，已存在的技术是把电极和加热管焊接为一体，在维修空间比较大的地方经常所见。然而对一些小的腔体和维修空间较窄的地方，电极和加热管焊接为一体，进而会造成拆卸更换维修不便的问题。

为解决上述问题，特提出了一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管及设置在加热管下端的电极，所述加热管设置在真空腔体内部；所述电极通过安装法兰固定在真空腔体下端，电极上端贯穿在真空腔体内部，电极上端设有导电柱，导电柱和加热管为可拆卸式连接。

为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述导电柱和加热管为螺纹连接。

为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述导电柱和加热管为限位销穿插连接。

为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述导电柱的材质为铜。

为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述电极外部包裹一层绝缘材料。

为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述绝缘材料为陶瓷。

为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述电极和安装法兰为一体式焊接固定，电极和安装法兰连接处铺设有过渡焊接材料，安装法兰和真空腔体通过紧固件固定。

为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述过渡焊接材料为可伐合金。

为了进一步提高一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的使用效果，所述紧固件是由螺栓和螺母构成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型加热管与电极螺纹配合安装，方便拆卸，利于加热管更换维修；大气环境的电流通过电极传导给真空腔体内部真空环境中的加热管，进行工作。

附图说明

图1为本实用新型用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极的结构示意图。

图中：1-加热管；2-真空腔体；3-紧固件；4-安装法兰；5-电极；6-导电柱；7-绝缘材料。

具体实施方式