[实用新型]一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极

权利要求书

1.一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管（1）及设置在加热管（1）下端的电极（5），其特征在于，所述加热管（1）设置在真空腔体（2）内部；所述电极（5）通过安装法兰（4）固定在真空腔体（2）下端，电极（5）上端贯穿在真空腔体（2）内部，电极（5）上端设有导电柱（6），导电柱（6）和加热管（1）为可拆卸式连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述导电柱（6）和加热管（1）为螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述导电柱（6）和加热管（1）为限位销穿插连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述导电柱（6）的材质为铜。

5.根据权利要求1所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述电极（5）外部包裹一层绝缘材料（7）。

6.根据权利要求5所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述绝缘材料（7）为陶瓷。

7.根据权利要求1所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述电极（5）和安装法兰（4）为一体式焊接固定，电极（5）和安装法兰（4）连接处铺设有过渡焊接材料，安装法兰（4）和真空腔体（2）通过紧固件（3）固定。

8.根据权利要求7所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述过渡焊接材料为可伐合金。

9.根据权利要求7所述的一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，其特征在于，所述紧固件（3）是由螺栓和螺母构成。