[实用新型]光学波导终端设备

说明书

一种光学波导终端设备，包括波导和围绕波导的端部部分的金属过孔。波导的端部部分具有朝向端部部分的远端减小的横向截面面积。金属过孔与同一平面正交，其中该同一平面与横向截面正交。当光信号通过波导传播时，金属过孔吸收源自端部部分的光，并且金属过孔和端部部分使得待通过波导传播的光学模式的有效折射率在端部部分中逐渐变化。沿端部部分上游的波导可以存在附加的金属过孔，其中附加金属过孔接近端部部分上游的波导过孔使得待通过波导传播的光学模式的有效折射率朝向端部部分逐渐变化。

技术领域

本公开涉及波导领域，并且更具体地涉及光学波导终端设备，以及集成光子(光学和/或光电子)电路的波导。

背景技术

在集成光子电路中，光信号可以通过波导传输。当波导的一端出现在其中具有被嵌入波导的材料中时，通常提供波导终端设备。波导终端设备能够至少部分地吸收信号的功率，以限制或甚至抑制部分功率传输到集成电路的组件，这种功率传输能够干扰电路操作。这种设备还能够限制(或甚至抑制)在波导的一端的水平处信号的部分功率的反射，这种功率反射也能够干扰集成电路的操作。

期望具有一种波导终端设备，该波导终端设备克服了已知波导终端设备的至少一些缺点。特别地，希望具有一种波导终端设备，该波导终端设备用于在集成光子电路的互连结构的绝缘层中所形成的波导。

实用新型内容

在一个实施例中，一种设备包括波导和围绕波导的端部部分的金属过孔。

根据一个实施例，端部部分具有朝向端部部分的远端减小的横向截面面积(transverse cross-section area)。

根据一个实施例，过孔与同一平面正交，该平面与横向截面正交。

根据一个实施例，过孔被配置为当光信号通过波导传播时吸收源自端部部分的光。

根据一个实施例，过孔和端部部分被配置为使得待通过波导传播的光学模式的有效折射率在端部部分中逐渐变化。

根据一个实施例，在与过孔正交的平面中，过孔与端部部分之间的距离短于超过它则待在波导中传播的光学模式的功率低于约-60dB的距离。

根据一个实施例，该设备还包括平行于与过孔正交的平面的金属板，金属板至少部分地被布置成与端部部分相对，并且被配置为当光信号通过波导传播时吸收源自端部部分的光。

根据一个实施例，该设备还包括在由波导所传输的信号的波长吸收的材料的条带，该条带平行于与过孔正交的平面，该条带至少部分地被布置成与端部部分相对、并且被配置为当光信号通过波导传播时吸收源自端部部分的光。

根据一个实施例，该设备还包括沿端部部分上游的波导的金属过孔。

根据一个实施例，接近端部部分上游的波导的过孔被配置为使得待通过波导传播的光学模式的有效折射率一直逐渐变化到端部部分。

根据一个实施例，端部部分从中间部分延伸，该中间部分被配置为使得待在波导中传播的光学模式的有效折射率一直逐渐变化到端部部分。

根据一个实施例，中间部分在平行于过孔的纵向方向的方向上包括第一部分和第二部分的堆叠，第二部分具有朝向端部部分减小的截面。

根据一个实施例，在从第一部分到端部部分的过渡处，第一部分和端部部分具有相同的横向截面。

另一实施例提供了一种集成光子电路，该集成光子电路包括诸如上文所定义的设备。

根据一个实施例，该电路包括互连结构，波导(选地由氮化硅制成)被嵌入互连结构的绝缘层(优选地由氧化硅制成)中。

根据各种实施例，提供了一种光学波导终端设备，包括：光学波导；以及多个金属过孔，被定位成围绕所述光学波导的端部部分。