[实用新型]光学波导终端设备

权利要求书

1.一种光学波导终端设备，其特征在于，包括：

光学波导；以及

多个金属过孔，被定位成围绕所述光学波导的端部部分。

2.根据权利要求1所述的光学波导终端设备，其特征在于，所述端部部分具有朝向所述端部部分的远端减小的横向截面面积。

3.根据权利要求2所述的光学波导终端设备，其特征在于，所述多个金属过孔正交于同一平面延伸，所述同一平面与所述横向截面正交。

4.根据权利要求1所述的光学波导终端设备，其特征在于，所述多个金属过孔被配置为响应于通过所述光学波导传播的光信号而吸收源自所述端部部分的光。

5.根据权利要求4所述的光学波导终端设备，其特征在于，所述多个金属过孔和所述端部部分被配置为使得待通过所述波导传播的光学模式的有效折射率在所述端部部分中逐渐变化。

6.根据权利要求1所述的光学波导终端设备，其特征在于，在与所述金属过孔正交的平面中，所述金属过孔与所述端部部分之间的距离短于超过它则待在所述波导中传播的光学模式的功率低于约-60dB的距离。

7.根据权利要求1所述的光学波导终端设备，其特征在于，还包括平行于与所述金属过孔正交的平面的金属板，所述金属板至少部分地被布置成与所述端部部分相对、并且被配置为响应于通过所述光学波导传播的光信号而吸收源自所述端部部分的光。

8.根据权利要求1所述的光学波导终端设备，其特征在于，还包括吸收通过所述光学波导传播的光信号的波长的材料的条带，所述条带平行于与所述金属过孔正交的平面，所述条带至少部分地被布置成与所述端部部分相对、并且被配置为响应于通过所述光学波导传播的所述光信号而吸收源自所述端部部分的光。

9.根据权利要求1所述的光学波导终端设备，其特征在于，还包括沿所述端部部分上游的所述波导的附加金属过孔。

10.根据权利要求9所述的光学波导终端设备，其特征在于，所述附加金属过孔接近所述端部部分上游的所述波导、并且被配置为使得待通过所述波导传播的光学模式的有效折射率朝向所述端部部分逐渐变化。

11.根据权利要求1所述的光学波导终端设备，其特征在于，所述端部部分从中间部分延伸，所述中间部分被配置为使得待通过所述波导传播的光学模式的有效折射率朝向所述端部部分逐渐变化。

12.根据权利要求11所述的光学波导终端设备，其特征在于，所述中间部分在平行于所述金属过孔的纵向方向的方向上包括第一部分和第二部分的堆叠，所述第二部分具有朝向所述端部部分减小的截面面积。

13.根据权利要求12所述的光学波导终端设备，其特征在于，在从所述第一部分到所述端部部分的过渡处，所述第一部分和所述端部部分具有相同的横向截面面积。

14.根据权利要求1所述的光学波导终端设备，其特征在于，还包括互连结构，其中所述光学波导由氮化硅形成、并且被嵌入由氧化硅形成的绝缘层中。

15.一种光学波导终端设备，其特征在于，包括：

波导，光学信号在所述波导中传播；以及

金属过孔，围绕所述波导的端部部分过孔；

其中所述波导的所述端部部分具有朝向所述端部部分的远端减小的横向截面面积；

其中所述金属过孔与同一平面正交，所述同一平面与所述横向截面正交；以及

其中所述金属过孔被配置为当所述光学信号通过所述波导传播时吸收源自所述端部部分的光，以及其中所述金属过孔和所述端部部分被配置为使得待通过所述波导传播的光学模式的有效折射率在所述端部部分中逐渐变化。