[实用新型]MEMS麦克风和电子设备有效
| 申请号： | 201920321070.5 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN209267817U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 于永革 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电路板 衬底 本实用新型 挡板 电子设备 振膜 电性连接 屏蔽 背离 辐射 外部 应用 | ||
1.一种MEMS麦克风，包括：
电路板；
MEMS芯片，所述MEMS芯片设于所述电路板的表面；
ASIC芯片，所述ASIC芯片设于所述电路板的表面，并与所述MEMS芯片电性连接；其特征在于，
所述MEMS芯片包括衬底和固定于所述衬底的振膜，所述衬底设于所述电路板的表面，所述衬底的背离所述电路板的端面凸设有挡板，所述挡板至少部分位于所述ASIC芯片与所述振膜之间。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述挡板沿所述振膜的周向延伸设置。
3.如权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述挡板环绕所述振膜设置。
4.如权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述挡板的横截面的外轮廓呈圆形、正方形、长方形、椭圆形、菱形或平行四边形。
5.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，定义所述挡板凸起于所述衬底的高度为H，H≥20μm。
6.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述挡板为金属挡板、塑料挡板、玻璃挡板或木质挡板。
7.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述挡板通过胶黏剂固定于所述衬底的背离所述电路板的端面。
8.如权利要求1至7中任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述衬底的背离所述电路板的端面设有焊盘，所述焊盘与所述振膜由所述挡板间隔设置；
所述ASIC芯片通过导线与所述MEMS芯片电性连接，所述导线的一端电性连接于所述ASIC芯片，另一端电性连接于所述焊盘。
9.如权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述导线不高于所述挡板。
10.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的MEMS麦克风。
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